[实用新型]带电装置

说明书

提供一种用于使密封树脂带静电的带电装置。带电装置(100)具有载置台(110)以及静电产生机构(120)。载置台(110)载置有被测定物(10)。被测定物(10)的至少上表面是密封半导体芯片的密封树脂。静电产生机构(120)通过与载置于载置台(110)的被测定物(10)的上表面反复接触，而在被测定物(10)上产生静电。

技术领域

本实用新型涉及一种带电装置。

背景技术

利用密封树脂来密封半导体芯片的半导体装置具有利用树脂密封半导体芯片的构造。半导体装置的可靠性中包括各种指标。

(实用新型所要解决的课题)

半导体装置的可靠性的一种指标包括静电的易存留度。在静电容易存留时，半导体的可靠性容易降低。因此，在密封半导体装置的密封树脂中，需要测定静电的易存留度。为了进行该测定，需要用于使密封树脂带静电的带电装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的课题在于提供一种用于使密封树脂带静电的带电装置。

(用于解决课题的手段)

根据本实用新型，提供一种带电装置，具有：

载置被测定物的载置台，所述被测定物的至少上表面是密封半导体芯片的密封树脂；以及

静电产生机构，该静电产生机构通过与载置于所述载置台的所述被测定物的所述上表面沿垂直于所述被测定物的所述上表面的方向反复接触而在所述被测定物产生静电。

实用新型的效果

根据本实用新型，能够提供一种用于使密封树脂带静电的带电装置。

附图说明

图1是表示第一实施方式的带电装置100的结构的图。

图2是表示第二实施方式的带电量测定装置20的结构的图。

附图标记说明

10 被测定物

20 带电量测定装置

100 带电装置

110 载置台

112 移动机构

120 静电产生机构

122 驱动机构

124 臂部

126 接触部件

128 移动机构

130 控制部

200 测定装置

210 带电传感器

220 距离传感器

222 移动机构

224 框架

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行说明。此外，在所有附图中，对同样结构要素标注同样的附图标记，并省略适当说明。

(第一实施方式)