[实用新型]一种简易晶体薄膜生长装置

权利要求书

1.一种简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：包括绝热底座、平板加热台、精细螺纹擎台杆、生长台和温控仪，所述平板加热台设置在所述绝热底座上，所述精细螺纹擎台杆竖直设置绝热底座上并与所述平板加热台相邻，所述生长台设置在所述平板加热台的上方，所述生长台与平板加热台的距离可调节，所述温控仪与所述平板加热台电性连接。

2.根据权利要求1所述的简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：还包括固定套环和固定螺母，所述生长台通过固定套环与所述精细螺纹擎台杆连接，所述固定螺母设置在所述精细螺纹擎台杆上，以固定生长台的位置。

3.根据权利要求2所述的简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：与所述平板加热台相对的生长台的一面设置有一生长孔和衬底固定夹，所述衬底固定夹设置在生长孔的周边，以夹持和固定生长衬底。

4.根据权利要求3所述的简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：包括保温绝热台，所述保温绝热台设置在绝热底座上，所述保温绝热台上设置有一凹槽，所述平板加热台相嵌在该凹槽中且所述平板加热台的上表面高度低于所述保温绝热台的高度。

5.根据权利要求4所述的简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：所述平板加热台的上表面与所述保温绝热台的高度差为0.5～1.5mm。

6.根据权利要求5所述的简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：所述平板加热台的上表面与所述保温绝热台的高度差为1.0mm。

7.根据权利要求6所述的简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：包括保温绝热罩，所述保温绝热罩可拆卸地罩设在所述绝热底座上，所述平板加热台，精细螺纹擎台杆，生长台和保温绝热台均位于所述保温绝热罩内。

8.根据权利要求7所述的简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：所述精细螺纹擎台杆上设置有刻度，刻度的间隔为0.2～0.5mm，与加热台的上表面等同高度的刻度记为0。

9.根据权利要求8所述的简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：所述精细螺纹擎台杆上的刻度的间隔为0.5mm。

10.根据权利要求7至9任一项所述的简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：所述保温绝热罩是保温砖罩或玻璃罩。