[实用新型]一种用于光刻机的顶销吸附平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加工平台，尤其涉及一种用于光刻机的顶销吸附平台。

背景技术

在玻璃加工行业，需要体积较大的吸附加工平台放置被加工玻璃。吸附平台上会均匀分布一些吸盘，当被加工玻璃需放置在吸附平台上时，吸盘通过顶销装置升起吸住玻璃，然后下降，将玻璃安置在吸附平台上。但是由于吸附平台表面积很大，所需要的顶销就很多，且顶销必须同时动作，否则就会造成被加工玻璃不能平稳的吸附，这样就需要将所有的顶销同时安装固定在一个顶销连接平台上，通过另外一个出力体推动顶销连接平台动作从而使得所有的吸盘同时动作，达到同时性。

传统的光刻机是利用伺服电机加减速机再通过多个丝杆和多个传动装置驱使顶销带动吸盘动作，这种方法的缺点是机械响应慢，顶销动作同时性差。另外一种方案是用气缸，但是气缸不能将吸盘定位在想要的位置，只能一次性将吸盘推上去再拉回来。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种用于光刻机的顶销吸附平台，机械响应快，同时性好，能够实现任意位置定位。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种用于光刻机的顶销吸附平台，包括吸附平台，所述吸附平台上均匀设置有若干第一通孔，所述吸附平台的下方设置有顶销连接平台，所述顶销连接平台的上端面均匀设置有若干顶销，每个所述顶销对应一个所述第一通孔，所述顶销的端部设置有吸盘或支撑球；所述顶销连接平台的中部螺纹连接有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠的下端连接有直驱旋转电机。

进一步地，所述顶销连接平台上在所述滚珠丝杠的两侧对称设置有两个第二通孔，每个第二通孔内设置有一个滑动导轨，所述滑动导轨与所述吸附平台下端面固定连接，所述顶销连接平台与所述滑动导轨滑动连接。

进一步地，所述吸附平台为多孔质陶瓷吸附平台。

本实用新型一种用于光刻机的顶销吸附平台，采用直驱电机，机械响应快，同时性好，能够实现任意位置定位，同时采用导轨支撑，稳定性好。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1所示，一种用于光刻机的顶销吸附平台，包括吸附平台1，吸附平台1上均匀设置有两圈第一通孔，吸附平台1的下方设置有顶销连接平台2，顶销连接平台2的上端面均匀设置有两圈顶销3，每个顶销3对应一个第一通孔，内圈顶销3的端部设置有吸盘4，外圈顶销3的端部设置有支撑球5；顶销连接平台2的中部螺纹连接有滚珠丝杠6，滚珠丝杠6的下端连接有直驱旋转电机7。

顶销连接平台2上在滚珠丝杠6的两侧对称设置有两个第二通孔，每个第二通孔内设置有一个滑动导轨8，滑动导轨8与吸附平台1下端面固定连接，顶销连接平台2与滑动导轨8滑动连接，增强了整个装置的平稳性和刚性以防顶销连接平台在上升和下降的过程中出现左右或前后摇摆。

吸附平台1为多孔质陶瓷吸附平台，耐高温、高压，抗酸、碱和有机介质腐蚀。

工作原理：

直驱电机旋转，通过滚珠丝杆将旋转运动转换为直线运动，推动顶销连接平台沿着滑动导轨向上运动，均匀分布在顶销连接平台上的顶销跟着一起向上动作，将被加工玻璃吸附过来再缓缓下降直至玻璃着落至多孔质陶瓷吸附平台。

本实用新型一种用于光刻机的顶销吸附平台，采用直驱电机，机械响应快，同时性好，能够实现任意位置定位，同时采用导轨支撑，稳定性好。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。