[实用新型]一种基板承载装置有效
| 申请号： | 201720913820.9 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN207517654U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 章华梅 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 框部件 基板承载装置 基板 承载 伸缩框 围合 尺寸大小调整 本实用新型 承载装置 互相连接 最大位置 最小位置 移动 支撑 | ||
1.一种基板承载装置，其包括：
框部件，所述框部件包括位于同一平面内的互相连接的边；
以及承载部，所述承载部设置于所述框部件内并与所述边连接，所述承载部支撑所述基板；
其特征在于：
所述框部件为伸缩框部件，所述伸缩框部件在围合面积最小位置和围合面积最大位置之间移动。
2.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于：所述框部件为矩形框部件，所述矩形框部件包括两条伸缩边，两条所述伸缩边平行设置。
3.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于：所述框部件为矩形框部件，所述矩形框部件包括四条伸缩边，四条所述伸缩边两两平行设置。
4.根据权利要求2或3所述的基板承载装置，其特征在于：所述伸缩边为伸缩杆，所述伸缩杆包括套管以及设置于所述套管内的滑杆。
5.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于：所述伸缩杆为一级或多级伸缩杆。
6.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于：所述框部件为矩形框部件，所述矩形框部件包括两个L型套管和两个L型滑杆，每个所述L型滑杆的两端分别与两个所述L型套管滑动连接，两个所述L型套管对角线设置，两个所述L型滑杆对角线设置。
7.根据权利要求6所述的基板承载装置，其特征在于：两个所述L型套管和两个所述L型滑杆均一体成型设置。
8.根据权利要求5或6所述的基板承载装置，其特征在于：所述框部件还包括定位机构，所述定位机构包括设置在套管和滑杆上的对应设置的锁定孔，以及与所述锁定孔配合的锁定销。
9.根据权利要求5或6所述的基板承载装置，其特征在于：所述框部件还包括定位机构，所述定位机构包括设置在套管的开口端的锁舌，以及设置在滑杆表面与所述锁舌配合设置的定位槽。
10.根据权利要求5或6所述的基板承载装置，其特征在于：所述承载部为承载板，所述承载板的一端与套管连接，至少相对的两个套管上设置有所述承载板。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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