[实用新型]一种剥离牺牲板治具有效
申请号: | 201720929915.X | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN207116407U | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | 王俊 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙)32309 | 代理人: | 周彩钧 |
地址: | 214434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 剥离 牺牲 板治具 | ||
1.一种剥离牺牲板治具,其特征在于:它包括支架(1),所述支架(1)上设置有上料机构(2)和分离机构(3),所述分离机构(3)位于上料机构(2)前侧;
所述支架(1)包括底板(11),所述底板(11)上设置有第一支架(12)和第二支架(13),所述第一支架(12)位于第二支架(13)前侧;
所述上料机构(2)包括左右两个流道支架(21),左右两个流道支架(21)设置于第一支架(12)和第二支架(13)内侧,左右两个流道支架(21)之间形成流道(22),所述流道(22)包括从后往前依次布置的皮带输送区域(221)、金属轮输送区域(222)和过渡区域(223);
所述皮带输送区域(221)设置有两对传送皮带轮(23),所述两对传送皮带轮(23)分别设置于流道支架(21)内侧,两对传送皮带轮(23)均前后水平布置,所述两对传送皮带轮(23)均各自通过传送皮带(24)相连接,后侧的两个传送皮带轮(23)设置有皮带轮传送轴(25);
所述金属轮输送区域(222)设置有传送模组(26),所述传送模组(26)包括相互平行布置的第一从动轴(261)、第二从动轴(262)、第三从动轴(263)和第四从动轴(264),其中第一从动轴(261)和第二从动轴(262)位于同一水平线上,第三从动轴(263)和第四从动轴(264)位于同一水平线上,第三从动轴(263)和第四从动轴(264)分别位于第一从动轴(261)和第二从动轴(262)正上方,第一支架(12)外侧设置有传送电机(265),传送电机(265)输出端设置有主动齿轮(266),第一从动轴(261)、第二从动轴(262)、第三从动轴(263)和第四从动轴(264)端部分别设置有第一从动齿轮(267)、第二从动齿轮(268)、第三从动齿轮(269)和第四从动齿轮(2610),第一从动齿轮(267)和第二从动齿轮(268)均与主动齿轮(266)相啮合,所述第三从动齿轮(269)与第一从动齿轮(267)相啮合,所述第四从动齿轮(2610)与第二从动齿轮(268)相啮合,所述第一从动轴(261)、第二从动轴(262)、第三从动轴(263)和第四从动轴(264)上均设置有金属压轮组(2611);
所述分离机构(3)包括分离压轮传送轴(31),所述分离压轮传送轴(31)与第一从动轴(261)之间通过第二链传动机构(210)相连接,所述分离压轮传送轴(31)上设置有分离压轮组(32),所述分离压轮传送轴(31)前侧设置有竖直支撑板(33),所述竖直支撑板(33)上设置有分离板气缸(34),所述分离板气缸(34)上端设置有分离板(35)。
2.根据权利要求1所述的一种剥离牺牲板治具,其特征在于:所述第二从动轴(262)与皮带轮传送轴(25)之间通过第一链传动机构(27)相连接。
3.根据权利要求1所述的一种剥离牺牲板治具,其特征在于:所述分离板(35)包括产品传送部(351)、牺牲板传送部(352)、分离部(353)和竖直导向板(354),所述产品传送部(351)沿水平面布置并与产品收料机构相连接,所述牺牲板传送部(352)倾斜布置于产品传送部(351)下侧,所述产品传送部(351)和牺牲板传送部(352)交接处设置有分离部(353),所述分离部(353)的上表面水平延伸至产品传送部(351),所述分离部(353)下表面延伸至牺牲板传送部(352),所述产品传送部(351)下侧及牺牲板传送部(352)前侧设置有竖直导向板(354),所述竖直导向板(354)与废料收集机构相连接。
4.根据权利要求3所述的一种剥离牺牲板治具,其特征在于:所述产品传送部(351)、牺牲板传送部(352)、分离部(353)和竖直导向板(354)为一体结构,所述产品传送部(351)与竖直导向板(354)形成的直角角落处固定在分离板气缸34上端。
5.根据权利要求3所述的一种剥离牺牲板治具,其特征在于:所述过渡区域(223)设置有上限位板(28)和下限位板(29)。
6.根据权利要求5所述的一种剥离牺牲板治具,其特征在于:所述上限位板(28)上设置有感应传感器(211)。
7.根据权利要求6所述的一种剥离牺牲板治具,其特征在于:所述皮带轮传送轴(25)架设于第二支架(13)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造