[实用新型]全自动定量多成分沉积模拟供源系统

权利要求书

1.全自动定量多成分沉积模拟供源系统，其特征在于：在内部呈中空的储砂罐(1)上方的一侧设置有倾斜布置的传送带(6)，在所述的储砂罐(1)的下方设置有相通的方形漏斗(2)，在所述的方形漏斗(2)的下方设置有横向放置的计量器(4)，在所述的计量器(4)的两端安装有弧形挡板(3)，所述的计量器(4)沿轴向持续转动，在所述的计量器(4)的下方设置有搅拌箱(9)。

2.根据权利要求1所述的全自动定量多成分沉积模拟供源系统，其特征在于：所述的搅拌箱(9)内部设置有双排搅拌器(7)，在所述的双排搅拌器(7)上设置有两片搅拌叶(8)，在所述的搅拌箱(9)的下方设置有可开闭的底板(10)。

3.根据权利要求1或2所述的全自动定量多成分沉积模拟供源系统，其特征在于：在所述的储砂罐(1)的上端一侧设置有红外发射接收装置(5)。

4.根据权利要求3所述的全自动定量多成分沉积模拟供源系统，其特征在于：在所述的计量器(4)采用圆柱体结构并一分为四，其中一等份为空心结构，另外三份为实心结构设计，所述的空心结构位于所述的计量器(4)的中间；在所述的计量器(4)内部设置有变频电机(11)。

5.根据权利要求4所述的全自动定量多成分沉积模拟供源系统，其特征在于：在所述的计量器(4)外部设置表盘(12)。

6.根据权利要求5所述的全自动定量多成分沉积模拟供源系统，其特征在于：所述的储砂罐(1)、方形漏斗(2)和计量器(4)依次贯通并采用一体化结构。