[实用新型]用于原子力显微镜的光学观察定位装置

权利要求书

1.一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，包括：原子力扫描头、探针架和设置于所述原子力扫描头上的光学成像装置；

所述原子力扫描头包括箱体、设置于所述箱体内的激光器装置和设置于所述激光器装置对侧的光电探测器，所述箱体顶端设有开口；

所述光学成像装置包括第一镜筒、一端与所述第一镜筒垂直连通的第二镜筒及设置在所述第二镜筒另一端的相机，所述第一镜筒内由下至上依次设置有物镜、半透半反镜和照明光源，所述第二镜筒内设置有滤光片。

2.根据权利要求1所述的用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，所述第一镜筒外部套设有连接套筒，所述第一镜筒通过所述连接套筒配合嵌入所述开口内。

3.根据权利要求2所述的用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，所述连接套筒中部外壁上连接有侧板，所述连接套筒上部的筒壁上开设有第一螺纹孔，所述侧板上开设有多个通孔。

4.根据权利要求3所述的用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，所述第一螺纹孔内配合设置有用于将所述连接套筒固接于所述第一镜筒外壁上的第一螺钉。

5.根据权利要求4所述的用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，所述箱体顶端的开口外周开设有第二螺纹孔，所述通孔内贯穿插设有与所述第二螺纹孔配合用于将所述连接套筒固接于所述箱体上的第二螺钉。

6.根据权利要求1所述的用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，所述探针架设置于所述箱体内的底部，与所述箱体可滑动连接，所述探针架上设置有探针。

7.根据权利要求6所述的用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，所述探针架上设置有探针定位块和固接于所述探针定位块上的弹簧片，所述探针夹持于所述弹簧片上。

8.根据权利要求1所述的用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，所述相机上设有连接器接口。