[实用新型]用于原子力显微镜的光学观察定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学观察定位装置技术领域，特别涉及一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置。

背景技术

原子力显微镜是通过检测待测样品表面和一个微型力极其敏感的探针针尖之间的原子间相互作用力来研究样品的表面结构及性质的。它是当前世界上分辨率最高的表面三维轮廓测量仪器，是材料科学研究及纳米检测领域中不可或缺的检测设备。我们知道在显微镜领域中，观测视野(也可称扫描范围)和观测分辨率之间是一个矛盾体。观察视野越大，分辨率往往比较低；反之，分辨率越高，其观察视野往往也比较小。原子力显微镜的分辨率非常高，当同时它的观察视野(一般称扫描范围)往往很小，而一般使用原子力显微镜观测样本时，所需要测的样品特征区域并不是均匀的分布在待测样品表面的，因此就会经常出现原子力显微镜所测的形貌结构并不在想测的样本区域范围内。所以在测量之前首先需要定位并找到待测的样本区域范围，这时候往往需要一个光学观察定位装置作为一个辅助，帮助原子力显微镜找到想测的样本区域。

当前市场上的原子力显微镜一般都会配置光学观察定位装置，他们通常都是在原子力显微镜的结构上增加一个单筒体视显微镜，不仅使得仪器结构显的更加庞大而复杂，而且使用起来并不方便，需要手动调焦，手动变倍，还需要手动调节观察视野位置，结构复杂，操作不便，使用效果不佳。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置，包括：原子力扫描头、探针架和设置于所述原子力扫描头上的光学成像装置；

所述原子力扫描头包括箱体、设置于所述箱体内的激光器装置和设置于所述激光器装置对侧的光电探测器，所述箱体顶端设有开口；

所述光学成像装置包括第一镜筒、一端与所述第一镜筒垂直连通的第二镜筒及设置在所述第二镜筒另一端的相机，所述第一镜筒内由下至上依次设置有物镜、半透半反镜和照明光源，所述第二镜筒内设置有滤光片。

优选的是，所述第一镜筒外部套设有连接套筒，所述第一镜筒通过所述连接套筒配合嵌入所述开口内。

优选的是，所述连接套筒中部外壁上连接有侧板，所述连接套筒上部的筒壁上开设有第一螺纹孔，所述侧板上开设有多个通孔。

优选的是，所述第一螺纹孔内配合设置有用于将所述连接套筒固接于所述第一镜筒外壁上的第一螺钉。

优选的是，所述箱体顶端的开口外周开设有第二螺纹孔，所述通孔内贯穿插设有与所述第二螺纹孔配合用于将所述连接套筒固接于所述箱体上的第二螺钉。

优选的是，所述探针架设置于所述箱体内的底部，与所述箱体可滑动连接，所述探针架上设置有探针。

优选的是，所述探针架上设置有探针定位块和固接于所述探针定位块上的弹簧片，所述探针夹持于所述弹簧片上。

优选的是，所述相机上设有连接器接口。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的用于原子力显微镜的光学观察定位装置结构简单，与原子力显微镜的扫描装置一体式组装，集成度高；采用精准的定焦定倍定位设计，无需手动调焦、无需变倍、无需调节光学观察视野位置，能为原子力显微镜的观测提供很好的辅助，极大的方便了原子力显微镜的操作性，能够很轻易的找到待测的样本区域。

附图说明

图1为本实用新型的用于原子力显微镜的光学观察定位装置的结构示意图；

图2为本实用新型的用于原子力显微镜的光学观察定位装置的俯视图；

图3为本实用新型的用于原子力显微镜的光学观察定位装置的仰视图。

附图标记说明：

1—原子力扫描头；2—光学成像装置；3—探针架；4—待测样品；10—箱体；11—激光器装置；12—光电探测器；13—开口；14—第二螺纹孔；15—第二螺钉；20—第一镜筒；21—第二镜筒；22—相机；23—连接套筒；24—连接器接口；200—物镜；201—半透半反镜；202—照明光源；210—滤光片；230—侧板；231—第一螺纹孔；232—通孔；233—第一螺钉；30—探针；31—探针定位块；32—弹簧片。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。