[实用新型]一种平行光网版曝光机的散热装置有效
申请号: | 201720959390.4 | 申请日: | 2017-08-02 |
公开(公告)号: | CN206975403U | 公开(公告)日: | 2018-02-06 |
发明(设计)人: | 张涛 | 申请(专利权)人: | 江西省亚华电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 332000 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平行 光网版 曝光 散热 装置 | ||
1.一种平行光网版曝光机的散热装置,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)的顶部设有曝光平台(11)和控制机构(12),壳体(1)的内腔安装有散热机构(3)和LED灯(4),壳体(1)的底面安装有脚轮(2);所述曝光平台(11)和控制机构(12)并排位于壳体(1)的上端面,曝光平台(11)由曝光面板(111)、曝光盖板(112)和气压支撑杆(113)组成,曝光面板(111)固定安装在壳体(1)的内壁上,曝光盖板(112)通过铰链与壳体(1)活动连接,曝光盖板(112)与壳体(1)的侧壁均连接气压支撑杆(113);所述控制机构(12)由流量调整阀(121)、压力表(122)和操作面板(123)组成,操作面板(123)通过控制线与散热机构(3)和LED灯(4)电性连接,流量调整阀(121)和压力表(122)并列安装在壳体(1)上表面;所述LED灯(4)位于曝光面板(111)的下方,LED灯(4)的底部均匀安装有支撑架(41);所述散热机构(3)包括散热壳(31)、挡板(32)、风扇(33)、风扇架(34)、排风管(35)和防护罩(36),散热壳(31)安装在壳体(1)内腔的底壁上,挡板(32)焊接在散热壳(31)的内腔中部,散热壳(31)的上端面以挡板(32)为中心对称开设有滤孔(311),散热壳(31)的内腔以挡板(32)为中心镜像焊接有风道管(312),滤孔(311)内安装有滤网(3111)且滤孔(311)与风道管(312)相通;所述风道管(312)内固定连接有风扇架(34),风道管(312)的末端穿过散热壳(31)与排风管(35)通过法兰连接;所述风扇架(34)上活动连接风扇(33);所述排风管(35)穿过壳体(1)侧壁嵌套有防护罩(36)。
2.根据权利要求1所述的一种平行光网版曝光机的散热装置,其特征在于:所述散热壳(31)的内壁和风道管(312)的外壁均涂覆有辐射散热降温隔热涂料。
3.根据权利要求1所述的一种平行光网版曝光机的散热装置,其特征在于:所述支撑架(41)的底部与散热壳(31)的顶部固定连接,挡板(32)与支撑架(41)平行。
4.根据权利要求1所述的一种平行光网版曝光机的散热装置,其特征在于:所述防护罩(36)采用镂空工艺处理,防护罩(36)通过螺栓螺母安装在壳体(1)的底部侧壁。
5.根据权利要求1所述的一种平行光网版曝光机的散热装置,其特征在于:所述壳体(1)的内部安装有压力传感器,压力传感器与压力表(122)电性连接,壳体(1)的内腔贯穿有输气风管,输气风管与流量调整阀(121)电性连接。
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