[实用新型]一种平行光网版曝光机的散热装置有效
申请号: | 201720959390.4 | 申请日: | 2017-08-02 |
公开(公告)号: | CN206975403U | 公开(公告)日: | 2018-02-06 |
发明(设计)人: | 张涛 | 申请(专利权)人: | 江西省亚华电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 332000 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平行 光网版 曝光 散热 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及曝光机技术领域,具体为一种平行光网版曝光机的散热装置。
背景技术
一般印刷电路板或半导体芯片在进行曝光显影制程时,先在被加工物表面上涂上一层光阻,再藉由光源的照射将原稿上的电路布线图案映像至被加工物表面的光阻层上,以使光阻层的化学性质因光源的照射而产生变化,然后再利用去光阻剂来将被光源照射过的光阻或未经曝光的光阻自被加工物表面去除,以形成对应于原稿的线路布局,这种设备称为曝光机,以前的爆光机采用卤素灯作为热光源,功率大约20KW,发热量大,散热的效果较差,设备长时间的热环境下,使用寿命缩减。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种平行光网版曝光机的散热装置,具备散热效果好和使用寿命长的优点,解决了现有技术的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种平行光网版曝光机的散热装置,包括壳体,所述壳体的顶部设有曝光平台和控制机构,壳体的内腔安装有散热机构和LED灯,壳体的底面安装有脚轮;所述曝光平台和控制机构并排位于壳体的上端面,曝光平台由曝光面板、曝光盖板和气压支撑杆组成,曝光面板固定安装在壳体的内壁上,曝光盖板通过铰链与壳体活动连接,曝光盖板与壳体的侧壁均连接气压支撑杆;所述控制机构由流量调整阀、压力表和操作面板组成,操作面板通过控制线与散热机构和LED灯电性连接,流量调整阀和压力表并列安装在壳体上表面;所述LED灯位于曝光面板的下方,LED灯的底部均匀安装有支撑架;所述散热机构包括散热壳、挡板、风扇、风扇架、排风管和防护罩,散热壳安装在壳体内腔的底壁上,挡板焊接在散热壳的内腔中部,散热壳的上端面以挡板为中心对称开设有滤孔,散热壳的内腔以挡板为中心镜像焊接有风道管,滤孔内安装有滤网且滤孔与风道管相通;所述风道管内固定连接有风扇架,风道管的末端穿过散热壳与排风管通过法兰连接;所述风扇架上活动连接风扇;所述排风管穿过壳体侧壁嵌套有防护罩。
优选的,所述散热壳的内壁和风道管的外壁均涂覆有辐射散热降温隔热涂料。
优选的,所述支撑架的底部与散热壳的顶部固定连接,挡板与支撑架平行。
优选的,所述防护罩采用镂空工艺处理,防护罩通过螺栓螺母安装在壳体的底部侧壁。
优选的,所述壳体的内部安装有压力传感器,压力传感器与压力表电性连接,壳体的内腔贯穿有输气风管,输气风管与流量调整阀电性连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
本平行光网版曝光机的散热装置,将菲林固定在曝光面板,再放入基板,放好后,曝光盖板通过铰链与壳体活动连接,盖上曝光盖板,LED灯位于曝光面板的下方,LED灯完成曝光工作,挡板将散热壳的内部一分为二,挡板避免散热壳内部的气流相互影响,自然界的温度均以电磁波的方式进行传播,大部分集中在红外进行传送热量,辐射散热降温隔热涂料吸收辐射热并进行隔热的涂料,辐射散热降温隔热涂料将散热壳和风道管内部的热量吸收并进行隔热,避免了热量的散播,增加的了散热效果,滤网避免灰尘进入,影响LED灯的曝光效果;风扇工作后对壳体内部进行抽热;排风管穿过壳体侧壁嵌套有防护罩,防护罩避免有物体从排风管进入壳体内部,保护了散热机构,具有散热效果好和使用寿命长的优点。
附图说明
图1为本实用新型的整体立体图;
图2为本实用新型的侧面结构图;
图3为本实用新型的散热壳结构图。
图中:1壳体、11曝光平台、111曝光面板、112曝光盖板、113气压支撑杆、12控制机构、121流量调整阀、122压力表、123操作面板、2脚轮、3散热机构、31散热壳、311滤孔、3111滤网、312风道管、32挡板、33风扇、34风扇架、35排风管、36防护罩、4LED灯、41支撑架。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
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