[实用新型]一种红外加热装置及互连结构沟槽刻蚀设备

权利要求书

1.一种红外加热装置，适用于互连结构沟槽刻蚀设备，所述互连结构沟槽刻蚀设备包括分子泵和设置于所述分子泵上的压力控制阀，其特征在于，所述红外加热装置设置于所述分子泵和所述压力控制阀之间，所述红外加热装置包括：

连接件，为环形结构，设置于所述分子泵和所述压力控制阀之间；

多个通孔，设置于所述连接件的侧壁上并且横向贯通所述连接件的侧壁；

多个加热管，为长条状，分别通过多个所述通孔伸入所述连接件内。

2.如权利要求1所述的红外加热装置，其特征在于，每个所述加热管包括：

石英管，包括封闭端和开口端，所述封闭端通过所述通孔伸入所述连接件内，所述开口端位于所述连接件的外部；

红外加热器本体，设置于所述石英管内。

3.如权利要求2所述的红外加热装置，其特征在于，所述红外加热器本体为红外加热灯。

4.如权利要求1所述的红外加热装置，其特征在于，所述连接件与所述压力控制阀的端面之间设置有第一密封圈。

5.如权利要求4所述的红外加热装置，其特征在于，于所述连接件朝向所述压力控制阀的端面上设置有一环形的凹槽；

所述第一密封圈设置于所述凹槽内。

6.如权利要求1所述的红外加热装置，其特征在于，每个所述通孔内设置有台阶，所述通孔的内壁上设备有螺纹；

所述红外加热装置还包括：

第二密封圈，套设于所述加热管上并设置于所述台阶上；

锁紧件，为环形结构，套设于所述加热管上并通过螺纹固定在所述通孔内；

所述锁紧件挤压所述第二密封圈。

7.如权利要求1所述的红外加热装置，其特征在于，所述连接件通过螺栓固定在所述分子泵上。

8.如权利要求1所述的红外加热装置，其特征在于，包括两个所述加热管。

9.一种互连结构沟槽刻蚀设备，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一所述的红外加热装置。