[实用新型]光学式瑕疵检测系统有效

专利信息
申请号: 201720974608.3 申请日: 2017-08-07
公开(公告)号: CN207007743U 公开(公告)日: 2018-02-13
发明(设计)人: 李彦志 申请(专利权)人: 联策科技股份有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司11335 代理人: 赵倩
地址: 中国台湾桃园*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 光学 瑕疵 检测 系统
【权利要求书】:

1.一种光学式瑕疵检测系统,包含:

多个台面,被驱动在一往复方向上移动;

一影像拍摄系统,包含一相机,该相机用以从一待检测物的一检测面上拍摄影像;以及

一移动控制装置,控制该等台面在该往复方向上移动,且控制该相机在垂直于该往复方向上移动;其特征在于:

该等台面用以共同承载该待检测物且共同在该往复方向上移动,并在垂直于该往复方向上,该待检测物的检测面的宽度大于该相机在该检测面的取像宽度,且该移动控制装置控制该等台面至少一次的往复移动中,该相机的拍摄影像才扫描过该待检测物的全部检测面。

2.如权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统,其特征在于,其中该影像拍摄系统进一步包含:一相机移动轴,该相机安装于该相机移动轴而在垂直于该往复方向上移动。

3.如权利要求2所述的光学式瑕疵检测系统,其特征在于,其中该移动控制装置控制该相机移动轴至少一次移动该相机,俾使在该等台面至少一次的往复移动中,该相机的拍摄影像才扫描过该待检测物的全部检测面。

4.如权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统,其特征在于,进一步包含:多个台面驱动机构,分别驱动该等台面在该往复方向上移动,并为该移动控制装置所控制。

5.如权利要求4所述的光学式瑕疵检测系统,其特征在于,其中该移动控制装置包含:一多埠的控制轴卡,该控制轴卡的多埠分别用以控制该等台面驱动机构,以及该影像拍摄系统的一相机移动轴,该相机安装于该相机移动轴而在垂直于该往复方向上移动。

6.如权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统,其特征在于,其中该影像拍摄系统在该往复方向的其中一个方向扫描完成该待检测物的部分检测面后,该影像拍摄系统会通知该移动控制装置控制该相机在垂直于该往复方向上移动。

7.如权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统,其特征在于,其中在垂直于该往复方向上,该待检测物的检测面的宽度小于该等台面的宽度与该等台面之间的间距的总和。

8.一种光学式瑕疵检测系统,包含:

一台面,承载一待检测物在一往复方向上移动;以及

一影像拍摄系统,包含一相机,该相机用以从该待检测物的一检测面上拍摄影像;其特征在于:

在垂直于该往复方向上,该待检测物的检测面的宽度大于该相机在该检测面的取像宽度,且在该台面至少一次的往复移动中,该相机的拍摄影像才扫描过该待检测物的全部检测面。

9.如权利要求8所述的光学式瑕疵检测系统,其特征在于,进一步包含:一移动控制装置,控制该台面在该往复方向上移动,且控制该相机在垂直于该往复方向上移动。

10.一种光学式瑕疵检测系统,包含:

多个台面,分别被驱动在一往复方向上移动;以及

一影像拍摄系统,包含一相机,该相机用以从该待检测物的一检测面上拍摄影像;其特征在于:

其中在垂直于该往复方向上,该待检测物的检测面的宽度小于该相机在该检测面的取像宽度,单一台面用以承载该待检测物且在各自的往复方向上移动进行表面瑕疵检测;

其中在垂直于该往复方向上,该待检测物的检测面的宽度大于该相机在该检测面的取像宽度,该等台面用以共同承载该待检测物且在相同的往复方向上移动进行表面瑕疵检测。

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