[实用新型]一种用于透射电子显微镜的样品载体有效
| 申请号： | 201720975570.1 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN207134325U | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 宋箭叶;顾晓芳;陈宏璘;倪棋梁;龙吟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 透射 电子显微镜 样品 载体 | ||
1.一种用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：包括半圆形带两侧左右对称凹槽(1)与中间的台阶状样品放置台(2)；所述样品放置台(2)左右两侧分别与所述凹槽(1)连接；所述样品放置台(2)的每级台阶顶端为样品放置处(4)。
2.根据权利要求1所述的用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：所述样品载体为金属钼或铜金属箔材质。
3.根据权利要求1所述的用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：所述样品载体的厚度为50um～100um。
4.根据权利要求1所述的用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：所述台阶状样品放置台(2)为左右对称两级台阶状样品放置台(2)。
5.根据权利要求4所述的用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：所述样品放置台(2)用等离子体刻出每级台阶区分标号。
6.根据权利要求5所述的用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：所述区分标号具体为：字母标记左右位置，数字标记台阶阶数，左右对称两级台阶用A1，A2，B1，B2表示。
7.根据权利要求1所述的用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：所述样品载体下部设两侧为圆弧形的长方形通孔。
8.根据权利要求1所述的用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：还包括样品(3)，所述样品(3)底部与样品放置台(2)接触部分用沉积钨固定。
9.根据权利要求1所述的用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：所述样品(3)为长方体样品，所述长方体样品尺寸为10um×5um×2um。
10.根据权利要求9所述的用于透射电子显微镜的样品载体，其特征在于：所述样品(3)离子刻蚀后小于100nm厚度。
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