[实用新型]等离子蚀刻腔负极板固定结构

权利要求书

1.一种等离子蚀刻腔负极板固定结构，包括通过连接螺栓(5)相互连接的负极板(1)和安装板(2)，负极板(1)位于安装板(2)的下方，安装板(2)上开设有通孔(20)，其特征在于：所述负极板(1)正对通孔(20)的位置开设有纵向截面呈“工”字型的基孔(10)，基孔(10)的上端敞口，下端与负极板(1)底壁之间留有间隙；

所述基孔(10)包括水平设置的上安装腔(100)、下安装腔(102)以及竖直地连接在该上安装腔(100)和下安装腔(102)之间的中间安装腔(101)，基孔(10)内嵌设有圆柱状的螺母座(3)，其纵向截面呈“T”字型，并与所述基孔(10)同轴设置，螺母座(3)的上端台阶位于上安装腔(100)内，其下端位于中间安装腔(101)内，该螺母座(3)下端端部连接有堵头螺栓(4)，堵头螺栓(4)竖直朝上，其栓帽(40)的上端面(401)与下安装腔(102)的上壁抵接；

所述连接螺栓(5)从安装板(2)上侧向下穿过通孔(20)后，与螺母座(3)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的等离子蚀刻腔负极板固定结构，其特征在于：所述上安装腔(100)和中间安装腔(101)均呈中空圆柱结构，下安装腔(102)呈中空长条状结构；

所述栓帽(40)的上端面(401)呈矩形结构，其长度大于下安装腔(102)的宽度以及中间安装腔(101)的直径。

3.根据权利要求2所述的等离子蚀刻腔负极板固定结构，其特征在于：所述下安装腔(102)左右两端呈光滑弧面结构，所述栓帽(40)上端面(401)的两端具有水平向外延伸的弧形凸起部(402)。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的等离子蚀刻腔负极板固定结构，其特征在于：所述栓帽(40)纵向截面呈上大下小的锥状结构，其侧壁(403)呈光滑弧面结构，其下端面(404)呈光滑平面结构。

5.根据权利要求1所述的等离子蚀刻腔负极板固定结构，其特征在于：所述螺母座(3)内设有与连接螺栓(5)配合的上部内螺纹(30)，以及位于上部内螺纹(30)正下方与堵头螺栓(4)配合的下部内螺纹(31)。