[实用新型]固晶机吸晶平台

权利要求书

1.固晶机吸晶平台，包括驱动部、基座部、夹持部、紧固部、推顶部（5），其特征在于，驱动部包括驱动基座部移动的第一驱动部（11）和第二驱动部（12），基座部包括底座（21）和固定设置在底座（21）上的支撑柱（22）；夹持部包括用于夹持晶片蓝膜的中空的夹持盘（3），夹持盘（3）内沿设置有用于支撑晶片蓝膜的凸沿（31），所述夹持盘（3）通过第一连接块（32）与支撑柱（22）相连接，夹持盘（3）侧端设有缺口，夹持盘（3）端部在缺口两侧设置有固定端（33）和活动端（34），所述固定端（33）表面设置有第一滑槽（331），所述活动端（34）的外侧端面固定设置有第二连接块（341），第二连接块（341）外端设置有第二滑槽（342）；紧固部包括第三连接块（41）、调节杆（42），所述第三连接块（41）与第一滑槽（331）相配合设置，所述调节杆（42）与第三连接块（41）以铰接的方式相连接，调节杆（42）的内端与第二滑槽（342）相配合设置。

2.根据权利要求1所述的固晶机吸晶平台，其特征在于，所述第三连接块（41）和第一滑槽（331）上分别设置有相通的第一条形通孔（411）、第二条形通孔（332），所述第三连接块（41）通过紧固螺栓（6）穿过第一条形通孔（411）、第二条形通孔（332）与第一滑槽（331）相连接。

3.根据权利要求2所述的固晶机吸晶平台，其特征在于，所述第三连接块（41）与紧固螺栓（6）之间设置有垫片（7）。

4.根据权利要求1所述的固晶机吸晶平台，其特征在于，所述调节杆（42）包括接触端（421）、控制端（422）以及设置在接触端（421）与控制端（422）之间的通孔（423），所述接触端（421）与第二滑槽（342）相接触。

5.根据权利要求4所述的固晶机吸晶平台，其特征在于，所述调节杆（42）通过销轴（8）穿过通孔（423）与第三连接块（41）铰接相连。

6.根据权利要求1所述的固晶机吸晶平台，其特征在于，所述第三连接块（41）上还设置有夹持在调节杆（42）上下端面的限位块（412）。

7.根据权利要求1所述的固晶机吸晶平台，其特征在于，所述固定端（33）和活动端（34）之间设置有弹性件（9）。

8.根据权利要求1所述的固晶机吸晶平台，其特征在于，所述推顶部（5）设置在夹持盘（3）下方。