[实用新型]固晶机吸晶平台有效
申请号: | 201720990815.8 | 申请日: | 2017-08-09 |
公开(公告)号: | CN207009414U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 孔凡伟;段花山;侯祥浩 | 申请(专利权)人: | 山东晶导微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙)37254 | 代理人: | 徐国印 |
地址: | 273100 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固晶机吸晶 平台 | ||
技术领域
本实用新型涉及二极管封装技术领域,具体涉及用于固晶工序的固晶机吸晶平台。
背景技术
目前二极管的封装工序中,尝尝会采用固晶机进行晶片绑定作业,其主要动作为:利用顶针将晶片从所吸附蓝膜上顶起离开蓝膜,然后利用吸晶摆臂前端所设吸嘴吸住晶片,通过摆臂的搬运将晶片放到框架指定位置;每张蓝膜上的晶片吸附取晶完毕之后需要手动更换晶片蓝膜,进入下一循环。现有技术中固晶机采用将蓝膜固定到吸晶平台上并用螺栓固定夹紧,但是存在蓝膜更换不方便的问题,而且现有的吸晶平台仅适用于固定尺寸的蓝膜,适用范围受限。
发明内容
为了解决上述问题,本实用新型提供了一种操作简便、适用范围广的固晶机吸晶平台。
本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是:固晶机吸晶平台,包括驱动部、基座部、夹持部、紧固部、推顶部,其特征在于,驱动部包括驱动基座部移动的第一驱动部和第二驱动部,基座部包括底座和固定设置在底座上的支撑柱;夹持部包括用于夹持晶片蓝膜的中空的夹持盘,夹持盘内沿设置有用于支撑晶片蓝膜的凸沿,所述夹持盘通过第一连接块与支撑柱相连接,夹持盘侧端设有缺口,夹持盘端部在缺口两侧设置有固定端和活动端,所述固定端表面设置有第一滑槽,所述活动端的外侧端面固定设置有第二连接块,第二连接块外端设置有第二滑槽;紧固部包括第三连接块、调节杆,所述第三连接块与第一滑槽相配合设置,所述调节杆与第三连接块以铰接的方式相连接,调节杆的内端与第二滑槽相配合设置。
进一步的,所述第三连接块和第一滑槽上分别设置有相通的第一条形通孔、第二条形通孔,所述第三连接块通过紧固螺栓穿过第一条形通孔、第二条形通孔与第一滑槽相连接。
进一步的,所述第三连接块与紧固螺栓之间设置有垫片。
进一步的,所述调节杆包括接触端、控制端以及设置在接触端与控制端之间的通孔,所述接触端与第二滑槽相接触。
进一步的,所述调节杆通过销轴穿过通孔与第三连接块铰接相连。
进一步的,所述第三连接块上还设置有夹持在调节杆上下端面的限位块。
进一步的,所述固定端和活动端之间设置有弹性件。
进一步的,所述推顶部设置在夹持盘下方。
本实用新型的有益效果是,通过设置的调节杆的简单旋动即可轻松实现晶片蓝膜的紧固和拿取更换,操作快捷,效率高,精准率高;设置的第一滑槽配合第三连接块以及第一条形通孔、第二条形通孔,能够调节活动端与固定端之间的限位距离,从而能够适用于不同尺寸的晶片蓝膜,适用范围广。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型紧固部的结构示意图;
图3是本实用新型调节杆的结构示意图。
图中:11.第一驱动部,12.第二驱动部,21.底座,22.支撑柱,3.夹持盘,31.凸沿,32.第一连接块,33.固定端,331.第一滑槽,332.第二条形通孔,34.活动端,341.第二连接块,342.第二滑槽,41.第三连接块,411.第一条形通孔,412.限位块,42.调节杆,421.接触端,422.控制端,423.通孔,5.推顶部,6.紧固螺栓,7.垫片,8.销轴,9.弹性件。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
吸晶平台在工作状态下沿其x轴、y轴方向运动以配合点胶针实施吸晶操作。
如图1和图2所示,本实用新型公开了一种固晶机吸晶平台,包括驱动部、基座部、夹持部、紧固部、推顶部5,驱动部包括驱动基座部沿吸晶平台x轴、y轴方向移动的第一驱动部11和第二驱动部12,基座部包括底座21和固定设置在底座21上的支撑柱22;夹持部包括用于夹持晶片蓝膜的中空的夹持盘3,夹持盘3内沿设置有用于支撑晶片蓝膜的凸沿31,所述夹持盘3通过第一连接块32与支撑柱22相连接,夹持盘3侧端设有缺口,夹持盘3端部在缺口两侧设置有固定端33和活动端34,所述固定端33表面设置有第一滑槽331,所述活动端34的外侧端面固定设置有第二连接块341,第二连接块341外端设置有第二滑槽342;紧固部包括第三连接块41、调节杆42,所述第三连接块41与第一滑槽331相配合设置,所述调节杆42与第三连接块41以铰接的方式相连接,调节杆42一端与第二滑槽342相配合设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造