[实用新型]一种用于薄膜表面镀膜处理的电极系统

权利要求书

1.一种用于薄膜表面镀膜处理的电极系统，其特征在于：包括电极，所述电极上设有滑块，电极通过所述滑块安装在内置直线导轨上，所述直线导轨上设有固定螺母，直线导轨通过固定螺母与调节螺杆连接，所述调节螺杆安装在旋转轴承座上，所述旋转轴承座安装在固定支架上，所述固定支架安装在框架连接杆上，所述框架连接杆安装在前、后端板上。

2.根据权利要求1所述的一种用于薄膜表面镀膜处理的电极系统，其特征在于：所述后端板上设有绝缘基座，所述绝缘基座上安装电极连接插座。

3.根据权利要求1所述的一种用于薄膜表面镀膜处理的电极系统，其特征在于：所述电极上设有气路分配口、电连接插头、电极连接板。

4.根据权利要求1所述的一种用于薄膜表面镀膜处理的电极系统，其特征在于：所述前后端板位于电机下方安装有旋转轴，所述旋转轴上安装有风刀。

5.根据权利要求1所述的一种用于薄膜表面镀膜处理的电极系统，其特征在于：所述前后端板及固定支架上安装有外罩，所述外罩上安装有排风口。

6.根据权利要求1所述的一种用于薄膜表面镀膜处理的电极系统，其特征在于：所述电极长度1640mm，电极高度可调节范围±5mm。