[实用新型]离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器有效
| 申请号： | 201721039592.3 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN207137551U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张彤;蔡克亚;李彬;吴鹏鹏;宋家玉;吴学炜;刘聪;王超;王存鑫;赵高岭 | 申请（专利权）人： | 安图实验仪器（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D46/24 |
| 代理公司： | 郑州异开专利事务所(普通合伙)41114 | 代理人： | 王霞 |
| 地址： | 450016 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子源 腔体抽 真空 初级 专用 排气 过滤器 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器，包括过滤器本体，其特征在于：所述过滤器本体包括过滤筒，所述过滤筒的筒壳左筒口和右筒口分别密封设置有左管堵和右端堵，所述左管堵的右端面和右管堵的左端面均为凸台结构，所述凸台的外径小于所述过滤筒的滤芯内径；所述滤芯的两端口分别密封套装在对应的凸台外周面，滤芯的外周面与所述筒壳内周面之间构成排气腔；左管堵上开设有进气口和排气口，所述进气口与滤芯的内腔相连通，所述排气口与所述排气腔相连通。
2.根据权利要求1所述离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器，其特征在于：所述右管堵上开设有与所述滤芯内腔相连通的排污通道，所述排污通道的排污口处密封螺接有排污螺栓。
3.根据权利要求1或2所述离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器，其特征在于：所述滤芯的纤维孔径为0.01um。
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