[实用新型]离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器

说明书

技术领域

本实用新型涉及基质辅助激光解析离子源，尤其是涉及离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器。

背景技术

离子源样品在真空腔体环境下才能被激光电离，要使腔体内处于高真空状态，则需要机械泵(初级泵)和涡轮分子泵（次级泵）串联共同抽取，才能形成离子源腔体的高真空环境，真空度约为10^-7mbar级。但是初级泵为机械泵（旋片式真空泵），在其排气口处会产生油污，同时离子源在激光电离的作用下进行解析时会产生一些生物碎片，这些生物碎片通过分子泵再经过机械泵抽出至排气口并排出，排出的生物碎片将对周围的环境造成一定的危害。

发明内容

本实用新型目的在于提供一种密封严密、过滤精度高的离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器。

为实现上述目的，本实用新型采取下述技术方案：

本实用新型所述离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器，包括过滤器本体，所述过滤器本体包括过滤筒，所述过滤筒的筒壳左筒口和右筒口分别密封设置有左管堵和右端堵，所述左管堵的右端面和右管堵的左端面均为凸台结构，所述凸台的外径小于所述过滤筒的滤芯内径；所述滤芯的两端口分别密封套装在对应的凸台外周面，滤芯的外周面与所述筒壳内周面之间构成排气腔；左管堵上开设有进气口和排气口，所述进气口与滤芯的内腔相连通，所述排气口与所述排气腔相连通。

所述右管堵上开设有与所述滤芯内腔相连通的排污通道，所述排污通道的排污口处密封螺接有排污螺栓。

所述滤芯的纤维孔径为0.01um。

本实用新型优点在于能够有效滤除离子源腔体抽真空初级泵排出的油污和生物碎片，避免了对周围环境的污染，同时也大大降低了初级泵工作时产生的噪声。同时本实用新型结构简单、体积小、密封良好；采取横卧安装方式不会增加初级泵在竖直方向上的高度，整体视觉效果较好。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是图1的A-A向剖视结构示意图。

图3是本实用新型装配在机械泵上的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施例作详细说明，本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述实施例。

如图1、2所示，本实用新型所述离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器，包括过滤器本体，过滤器本体包括过滤筒，过滤筒的筒壳1左筒口和右筒口分别密封螺纹连接有左管堵2和右端堵3，左管堵2的右端面和右管堵3的左端面均为凸台4、5结构，两凸台4、5的外径小于过滤筒滤芯6的内径，滤芯6的纤维孔径为0.01um；滤芯6的两端口分别密封套装在对应的凸台4、5外周面，滤芯6的外周面与筒壳1内周面之间构成排气腔7；左管堵2上开设有进气口8和排气口9，进气口8为NPT锥螺纹孔并与滤芯内腔10相连通，排气口9与排气腔7相连通；右管堵3上开设有与滤芯内腔10相连通的排污通道11，排污通道11的排污口处密封螺接有排污螺栓12。

如图3所示，使用时，将排气过滤器横卧安装在初级泵13上，进气口8通过KF25转3/4NPT转换接头14与初级泵13的排气口相连通，并通过KF25卡箍15固定即可。

如图2所示，过滤器本体整体装配时，通过旋紧左管堵2和右端堵3使筒壳1处于轻微径向压缩状态，这样，密封圈16的密闭方式为壁密封，连接装配时密封圈16也为压缩状态，从而保证了在过滤器本体高精密滤芯6内部的密封性。右端堵3的外周面通过滚花处理，能够在安装时增大摩擦力，便于装配人员安装。滤芯6纤维孔径为0.01um,能够高效的滤除油污和生物碎片，右端堵3上的排污螺栓12用来排出长期堆积在高精密滤芯6内腔的油污，便于维护人员清理。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语 “左”、“右”、 “内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。