[实用新型]一种膜表面缺陷检测装置有效
| 申请号： | 201721045488.5 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN207215722U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 张梁;董玉静;李波;温晔;陈维华 | 申请（专利权）人： | 中导光电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 广州维智林专利代理事务所(普通合伙)44448 | 代理人： | 赵晓慧 |
| 地址： | 526238 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 缺陷 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：
所述装置包括：暗场照明光路、亮场照明光路、半反半透镜、全反镜、成像镜头、线扫相机；其中，成像镜头和线扫相机位于半反半透镜的竖直方向上方，成像镜头位于线扫相机与半反半透镜之间；亮场照明光路位于半反半透镜的水平方向一侧，全反镜位于半反半透镜的水平方向与亮场照明光路呈180度相位的另一侧。
2.根据权利要求1所述的一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：
所述半反半透镜与水平方向呈45度角放置。
3.根据权利要求1或2所述的一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：
所述暗场照明光路从下到上包括暗场聚焦透镜、导光板、暗场线光源，导光板和暗场线光源位于暗场聚焦透镜的焦平面上，所述暗场聚焦透镜的焦平面与水平方向呈锐角放置。
4.根据权利要求3所述的一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：
所述锐角为45度或60度。
5.根据权利要求1或2所述的一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：
所述亮场照明光路包括亮场聚焦透镜和亮场线光源，其中亮场聚焦透镜位于亮场线光源和半反半透镜之间。
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