[实用新型]一种膜表面缺陷检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种膜表面缺陷检测装置，具体涉及一种利用明暗场光源进行膜表面缺陷检测的装置。

背景技术

OLED柔性屏采用柔性材料作为基板, 此基板为一层很薄的膜, 此膜表面非常小的突起都会对后续工艺产生影响, 导致良率下降, 因此需要将其检测并识别出来。现有检测技术分为高速平面检测和低速立体检测，先用高速平面检测将疑似缺陷检测出来，再用低速立体检测识别出来真实缺陷，效率较低，无法满足产业需求。

现有已公开中国实用新型专利申请号201510412058.1，公开了一种OLED基板蒸镀结构以及OLED掩膜缺陷检测方法，该结构包括：基板；贴合于基板表面的掩膜；以及设置于所述基板和所述掩膜之间的压电感测薄膜。该实用新型的OLED基板蒸镀结构可以在对基板蒸镀之前发现掩膜存在的缺陷。这种提前检测的方式可以避免在制作出成品之后发现掩膜存在的问题，从而产品的稳定性以及良率。

然而上述专利技术中需要特别设立压电感测薄膜，提高了检测成本，也是当前需要克服的问题。

另外，本申请人的已公开中国实用新型专利申请号201510320557.8公开了一种玻璃表面缺陷增强装置及其监测方法，公开了一种玻璃表面缺陷增强检测装置，包括明场照明光路、暗场照明光路、扫描成像镜头、线阵图像传感器。被测玻璃经进料传送带输送到运动台，依次开启明场线光源，扫描成像镜头、线阵图像传感器进行明场成像；随后关闭明场线光源，激光器发出激光经鲍威尔棱镜、准直器变换为线光源，扫描成像镜头、线阵图像传感器进行暗场成像；明场成像、暗场成像后的数据由智能系统统计分析其表面的缺陷信息，并汇总输出，通过对缺陷的严重程度的判断，提高对不良品的检出效果，提高产品的质量。

然而，上述方法不能简单的转用到膜表面缺陷检测上，需要对具体的元件设置和检测方法进行进一步的改进。

发明内容

为解决以上问题，本实用新型结合亮场和暗场侧光的特性，采用两者的混合照明，实现对OLED柔性膜表面小突起的快速检测和识别。

具体的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种膜表面缺陷检测装置，所述装置包括：暗场照明光路、亮场照明光路、半反半透镜、全反镜、成像镜头、线扫相机；其中，成像镜头和线扫相机位于半反半透镜的竖直方向上方，成像镜头位于线扫相机与半反半透镜之间；亮场照明光路位于半反半透镜的水平方向一侧，全反镜位于半反半透镜的水平方向与亮场照明光路呈180度相位的另一侧。

优选的，所述半反半透镜与水平方向呈45度角放置。

优选的，所述暗场照明光路从下到上包括暗场聚焦透镜、导光板、暗场线光源，导光板和暗场线光源位于暗场聚焦透镜的焦平面上，所述暗场聚焦透镜的焦平面与水平方向呈锐角放置。

更优选的，所述锐角为45度或60度。

优选的，所述亮场照明光路包括亮场聚焦透镜和亮场线光源，其中亮场聚焦透镜位于亮场线光源和半反半透镜之间。

本实用新型的优点在于：

本实用新型通过对缺陷的严重程度的判断，实现对OLED柔性膜表面小突起的快速检测和识别，提高对不良品的检出效果，提高产品的质量。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

附图1示出了根据本实用新型实施方式的膜表面缺陷检测装置的光路原理图。

附图2示出了根据本实用新型实施方式的膜表面缺陷检测装置的侧视图。

附图3示出了根据本实用新型实施方式的膜表面缺陷检测装置的背视图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。