[实用新型]一种真空镀膜生产线有效
| 申请号： | 201721092253.1 | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN208008894U | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 廖荣新;禤瑞彬;黄进高 | 申请（专利权）人： | 肇庆市前沿真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜室 出片室 入片室 真空锁 抽气机组 真空镀膜生产线 本实用新型 工件输送 一端设置 节能效果 生产效率 依次连接 靶组件 真空室 镀膜 厂房 室内 节约 投资 | ||
1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；
所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；
所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；
所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件；
所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵；
所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空镀膜生产线还包括：与所述入片室连接的入片架，和/或与所述出片室连接的出片架。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室抽气机组包括：与所述入片室连接的入片室罗茨泵，以及与所述入片室罗茨泵连接的入片室粗抽泵；
和/或，所述出片室抽气机组包括：与所述出片室连接的出片室罗茨泵，以及与所述出片室罗茨泵连接的出片室粗抽泵。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室抽气机组还包括入片室负压罐，所述入片室负压罐的一端连接所述入片室罗茨泵，另一端连接所述入片室；
和/或，所述出片室抽气机组还包括出片室负压罐，所述出片室负压罐的一端连接所述出片室罗茨泵，另一端连接所述出片室。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室负压罐与所述入片室之间设置有入片室分流阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室负压罐之间设置有入片室负压罐抽气阀，所述入片室罗茨泵上设置有入片室旁通阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室之间设置有入片室粗抽阀；
和/或，所述出片室负压罐与所述出片室之间设置有出片室分流阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室负压罐之间设置有出片室负压罐抽气阀，所述出片室罗茨泵上设置有出片室旁通阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室之间设置有出片室粗抽阀。
6.根据权利要求3所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室罗茨泵和/或所述出片室罗茨泵具有调速装置。
7.根据权利要求3所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室粗抽泵和/或所述出片室粗抽泵为滑阀泵。
8.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室、所述出片室分别设置有入片室盖板、出片室盖板，所述入片室盖板和/或所述出片室盖板为下凹形。
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