[实用新型]一种真空镀膜生产线

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜生产线，所述生产线包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；入片室、镀膜室、出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；入片室的一端设置有第一真空锁，入片室和镀膜室之间设置有第二真空锁，镀膜室和出片室之间设置有第三真空锁，出片室的一端设置有第四真空锁；镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件。本实用新型真空镀膜生产线减少了大量的真空室、抽气机组和真空锁，并设置可作往复运动的镀膜室工件输送组件，不仅提高了生产效率，而且大大节省了厂房、节约了投资，同时具有显著的节能效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜生产线。

背景技术

真空镀膜技术发展很快，从蒸发镀膜到磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等；应用范围也越来越广泛如：建筑玻璃领域，太阳能领域，电了产品领域、刀具生产领域等都应用到真空镀膜技术；真空镀膜设备也从单室间歇式真空镀膜机发展到多室连续式真空镀膜生产线。

现有技术比较典型的卧式连续磁控溅射真空镀膜生产线包括：依次连接的入片架、入片室、前过渡室、前精抽室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后精抽室、后过渡室、出片室、出片架，上述的各个室统称为“真空室”；除前缓冲室、镀膜室、后缓冲室共用一套镀膜室抽气机组外其它各真空室都相应的有一套抽气机组分别为：入片室抽气机组、前过渡室抽气机组、前精抽室抽气机组、后精抽室抽气机组、后过渡室抽气机组和出片室抽气机组；除前缓冲室、镀膜室、后缓冲室为依次连通无阻隔外其它真空室之间均设有真空锁(一种真空阀门，当其关闭时相邻两真空室隔断，当其开启时相邻两真空室连通)，入片室和出片室的最外侧也分别设有真空锁，从前向后有真空锁1至真空锁8共8套真空锁；每个真空室分别设有工件输送组件，其中镀膜室还设有靶组件(用于镀膜的组件：将镀层材料溅射出来使之沉积于工件上表面成为镀层)。

真空镀膜过程：工件经清洗等镀膜前处理后进入入片架(如同时镀多片的还要在入片架将其排列好)，当入片室真空锁(真空锁1)开启时工件进入入片室，当工件完全进入入片室后关闭入片室真空锁，入片室抽气机组对入片室抽气，当入片室气压达到一定数值时开启前过渡室真空锁(真空锁2)，工件进入前过渡室；就这样工件依次进入各个真空室，各个真空室对应的抽气机组按一定的程序抽气；当工件走过镀膜室后就镀上了一层或多层薄膜再经一定的程序走出其它真空室来到出片架，这时可将工件从出片架上取下或通过其它机构将工件移动到下一工序；卧式连续磁控溅射真空镀膜生产线运行过程中当某一真空室的工件走到后一个真空室后，前一个真空室的工件又会自动走入该真空室从而达到连续生产的目的。

现有技术卧式连续磁控溅射真空镀膜生产线真空室比较多，所用的抽气机组也比较多(一般有9个真空室和7套抽气机组)，所以有占地面积大、投资成本高、故障率高、能耗大、控制复杂、工件破损几率高等不足之处。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜生产线，从而克服现有技术中的真空镀膜生产线占地面积大、投资成本高、能耗大等问题。

本实用新型的技术方案如下：

本实用新型提供了一种真空镀膜生产线，包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件。

所述的真空镀膜生产线，其中，所述真空镀膜生产线还包括：与所述入片室连接的入片架，和/或与所述出片室连接的出片架。