[实用新型]一种真空电子器件排气节能装置有效
| 申请号： | 201721101966.X | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN207217461U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 毛经华;曹关平;蔡小华 | 申请（专利权）人： | 江西景光电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 333405*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 电子器件 排气 节能 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空电子器件排气节能装置，包括操作台(1)、扩散泵(8)和机械泵(9)；其特征在于，所述操作台(1)上表面设有固定座(4)，固定座(4)上连接有电子管(3)；所述电子管(3)内设有电极和栅极，电极和栅极电性连接有电极电源(16)；所述电子管通过真空管道(5)连通有冷阱(7)，真空管道(5)与冷阱(7)之间设有超高真空阀(6)；所述冷阱(7)连通有扩散泵(8)，扩散泵(8)连通有机械泵(9)；所述电子管(3)外侧套设有烘烤环(10)，烘烤环(10)内设有高频加热丝(11)；所述烘烤环(10)左侧固定连接有滑块(12)，滑块(12)滑动连接有支撑板(13)；所述滑块(12)套设有丝杆(14)，丝杆(14)与滑块(12)螺纹连接；所述丝杆(14)上方连接有驱动电机(15)。
2.根据权利要求1所述的一种真空电子器件排气节能装置，其特征在于，所述高频加热丝(11)电性连接有高频加热器(17)。
3.根据权利要求1所述的一种真空电子器件排气节能装置，其特征在于，所述操作台(1)底部固定连接有支撑腿(2)。
4.根据权利要求1所述的一种真空电子器件排气节能装置，其特征在于，所述支撑板(13)与操作台(1)垂直固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空电子器件排气节能装置，其特征在于，所述驱动电机(15)为正反转电机。
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