[实用新型]一种真空电子器件排气节能装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空电子器件领域，具体是一种真空电子器件排气节能装置。

背景技术

真空电子器件指借助电子在真空或者气体中与电磁场发生相互作用，将一种形式电磁能量转换为另一种形式电磁能量的器件。具有真空密封管壳和若干电极，管内抽成真空，残余气体压力为10-4～10-8帕。有些在抽出管内气体后，再充入所需成分和压强的气体。广泛用于广播、通信、电视、雷达、导航、自动控制、电子对抗、计算机终端显示、医学诊断治疗等领域。

在电子管排气作业过程中，需要对电子管进行烘烤排气，使得排气更加彻底，传统的烘烤真空箱，耗能大，操作复杂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空电子器件排气节能装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空电子器件排气节能装置，包括操作台、扩散泵和机械泵；所述操作台上表面设有固定座，固定座上连接有电子管；所述电子管内设有电极和栅极，电极和栅极电性连接有电极电源；所述电子管通过真空管道连通有冷阱，真空管道与冷阱之间设有超高真空阀；所述冷阱连通有扩散泵，扩散泵连通有机械泵；所述电子管外侧套设有烘烤环，烘烤环内设有高频加热丝；所述烘烤环左侧固定连接有滑块，滑块滑动连接有支撑板；所述滑块套设有丝杆，丝杆与滑块螺纹连接；所述丝杆上方连接有驱动电机。

作为本实用新型进一步的方案：所述高频加热丝电性连接有高频加热器。

作为本实用新型进一步的方案：所述操作台底部固定连接有支撑腿。

作为本实用新型进一步的方案：所述支撑板与操作台垂直固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述驱动电机为正反转电机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设有机械泵和扩散泵对电子管进行两级排气，排气效率高；本实用新型设有电极电源，对电机进行通电，增强排气效果；本实用新型设有移动烘烤环，对电子管进行烘烤，烘烤效率高，便于排气，节约能源。

附图说明

图1为真空电子器件排气节能装置的剖视图；

图2为真空电子器件排气节能装置中烘烤环的结构示意图。

图中：1-操作台；2-支撑腿；3-电子管；4-固定座；5-真空管道；6-超高真空阀；7-冷阱；8-扩散泵；9-机械泵；10-烘烤环；11-高频加热丝；12-滑块；13-支撑板；14-丝杆；15-驱动电机；16-电极电源；17-高频加热器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～2，本实用新型实施例中，一种真空电子器件排气节能装置，包括操作台1、扩散泵8和机械泵9；所述操作台1底部固定连接有支撑腿2，操作台1上表面设有固定座4，固定座4上连接有电子管3；所述电子管3内设有电极和栅极，电极和栅极电性连接有电极电源16，进行电极除气；所述电子管通过真空管道5连通有冷阱7，真空管道5与冷阱7之间设有超高真空阀6；所述冷阱7连通有扩散泵8，扩散泵8连通有机械泵9，扩散泵8和机械泵9与外部电源电性连接，对电子管进行两级的排气；所述电子管3外侧套设有烘烤环10，烘烤环10内设有高频加热丝11，高频加热丝11电性连接有高频加热器17，高频加热器17向高频加热丝11通电，高频加热丝11对电子管3进行烘烤排气；所述烘烤环10左侧固定连接有滑块12，滑块12滑动连接有支撑板13，支撑板13与操作台1垂直固定连接；所述滑块12套设有丝杆14，丝杆14与滑块12螺纹连接；所述丝杆14上方连接有驱动电机15，驱动电机15为正反转电机，驱动电机15与外部电源电性连接，驱动电机15带动丝杆14正向和反向转动。