[实用新型]一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料有效
申请号: | 201721113177.8 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN207270892U | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 李向峰;黄安宁;高豹;曹庆 | 申请(专利权)人: | 安庆市鑫祥瑞环保科技有限公司 |
主分类号: | B01D39/20 | 分类号: | B01D39/20;G03F7/42 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙)34119 | 代理人: | 段晓微,叶美琴 |
地址: | 246000 安徽省安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 剥离 高效 分离 陶瓷 填料 | ||
1.一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料,其特征在于,包括:填料主体(1);
填料主体(1)具有采用多层陶瓷丝网(11)构成的层状结构,陶瓷丝网(11)采用折线编织而成,相邻两层陶瓷丝网(11)间隔设置,填料主体(1)中部设有竖直贯穿的过滤通道,所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段,所述导流段内径从上向下逐渐减小,所述导流段侧壁设有螺旋布置的导流槽。
2.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料,其特征在于,多层陶瓷丝网(11)沿所述过滤通道径向布置且围绕所述过滤通道沿圆周均匀分布。
3.根据权利要求2所述的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料,其特征在于,所述导流槽宽度均匀。
4.根据权利要求3所述的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料,其特征在于,所述导流槽的宽度大于相邻两层陶瓷丝网(11)之间的间距。
5.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料,其特征在于,填料主体(1)具有圆形结构,所述过滤通道与填料主体(1)同轴布置。
6.根据权利要求1所述的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料,其特征在于,所述出流段内壁设有多个过滤片(2),过滤片(2)沿所述出流段径向布置,多个过滤片(2)沿所述出流段内壁沿圆周分布。
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