[实用新型]一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻胶回收技术领域，尤其涉及一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)生产过程中，在玻璃基板表面有清洗、镀膜、光刻、刻蚀、剥离等工序。其中光刻工序利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后采用光刻胶通过刻蚀工艺将光掩模上的图形完整且精确地复制到玻璃基板上。在光刻胶剥离工序中会产生剥离废液，为了提高光刻胶剥离废液中有效成分的回收效率，需要对光刻胶玻璃液进行分离。

实用新型内容

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料。

本实用新型提出的一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料，包括：填料主体；

填料主体具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构，陶瓷丝网采用折线编织而成，相邻两层陶瓷丝网间隔设置，填料主体中部设有竖直贯穿的过滤通道，所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段，所述导流段内径从上向下逐渐减小，所述导流段侧壁设有螺旋布置的导流槽。

优选地，多层陶瓷丝网沿所述过滤通道径向布置且围绕所述过滤通道沿圆周均匀分布。

优选地，所述导流槽宽度均匀。

优选地，所述导流槽的宽度大于相邻两层陶瓷丝网之间的间距。

优选地，填料主体具有圆形结构，所述过滤通道与填料主体同轴布置。

优选地，所述出流段内壁设有多个过滤片，过滤片沿所述出流段径向布置，多个过滤片沿所述出流段内壁沿圆周分布。

本实用新型中，所提出的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料，填料主体具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构，陶瓷丝网采用折线编织而成，相邻两层陶瓷丝网间隔设置，填料主体中部设有竖直贯穿的过滤通道，所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段，所述导流段内径从上向下逐渐减小，所述导流段侧壁设有螺旋布置的导流槽。通过上述优化设计的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料，结构设计优化合理，过滤时光刻胶剥离液沿导流段表面流动，导流槽为光刻胶剥离液提供流动路径，保证光刻胶剥离液经过多次陶瓷丝网进行过滤，最终经过滤液体通过出流段流出，大大提高过滤效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料的另一结构示意图。

具体实施方式

如图1和2所示，图1为本实用新型提出的一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料的结构示意图，图2为本实用新型提出的一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料的另一结构示意图。

参照图1和2，本实用新型提出的一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料，包括：填料主体1；

填料主体1具有采用多层陶瓷丝网11构成的层状结构，陶瓷丝网11采用折线编织而成，相邻两层陶瓷丝网11间隔设置，填料主体1中部设有竖直贯穿的过滤通道，所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段，所述导流段内径从上向下逐渐减小，所述导流段侧壁设有螺旋布置的导流槽。

在本实施例中，所提出的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料，填料主体具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构，陶瓷丝网采用折线编织而成，相邻两层陶瓷丝网间隔设置，填料主体中部设有竖直贯穿的过滤通道，所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段，所述导流段内径从上向下逐渐减小，所述导流段侧壁设有螺旋布置的导流槽。通过上述优化设计的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料，结构设计优化合理，过滤时光刻胶剥离液沿导流段表面流动，导流槽为光刻胶剥离液提供流动路径，保证光刻胶剥离液经过多次陶瓷丝网进行过滤，最终经过滤液体通过出流段流出，大大提高过滤效果。

在具体实施方式中，多层陶瓷丝网11沿所述过滤通道径向布置且围绕所述过滤通道沿圆周均匀分布，保证光刻胶剥离液沿导流槽流动时尽可能多地经过多层陶瓷丝网。

为了保证过滤速度均衡，所述导流槽宽度均匀。

在进一步具体实施方式中，所述导流槽的宽度大于相邻两层陶瓷丝网11之间的间距，保证过滤效果。

在其他具体实施方式中，填料主体1具有圆形结构，所述过滤通道与填料主体1同轴布置。

为了进一步提高过滤效果，所述出流段内壁设有多个过滤片2，过滤片2沿所述出流段径向布置，多个过滤片2沿所述出流段内壁沿圆周分布，使得经过滤液体在出流段经二次过滤。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。