[实用新型]一种用于光刻胶剥离液的分离结构有效
| 申请号： | 201721113201.8 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN207270833U | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 李向峰;黄安宁;高豹;曹庆 | 申请（专利权）人： | 安庆市鑫祥瑞环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/56 | 分类号： | B01D29/56;B01D29/64;G03F7/42 |
| 代理公司： | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙)34119 | 代理人： | 段晓微,叶美琴 |
| 地址： | 246000 安徽省安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 剥离 分离 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光刻胶剥离液的分离结构，其特征在于，包括：过滤主体、过滤挡板(2)；
过滤主体包括多个过滤模块(1)，多个过滤模块(1)共同围成过滤通道，所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段，所述导流段内径从上向下逐渐减小，每个填料模块具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构，多层陶瓷丝网向远离所述过滤通道的方向依次布置；
过滤挡板(2)位于过滤主体上方，过滤挡板(2)与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道，过滤挡板(2)朝向过滤主体一侧设有毛刷(3)结构。
2.根据权利要求1所述的用于光刻胶剥离液的分离结构，其特征在于，所述出流段内壁设有多个过滤片(4)，过滤片(4)沿所述出流段径向布置，多个过滤片(4)沿所述出流段内壁沿圆周分布。
3.根据权利要求2所述的用于光刻胶剥离液的分离结构，其特征在于，多个过滤片(4)沿所述出流段内壁沿圆周均匀分布。
4.根据权利要求1所述的用于光刻胶剥离液的分离结构，其特征在于，所述出流段内壁设有液流孔。
5.根据权利要求1所述的用于光刻胶剥离液的分离结构，其特征在于，过滤挡板(2)中部向下凹陷，其底面形状与所述导流段形状配合。
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