[实用新型]一种用于光刻胶剥离液的分离结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻胶回收技术领域，尤其涉及一种用于光刻胶剥离液的分离结构。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)生产过程中，在玻璃基板表面有清洗、镀膜、光刻、刻蚀、剥离等工序。其中光刻工序利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后采用光刻胶通过刻蚀工艺将光掩模上的图形完整且精确地复制到玻璃基板上。在光刻胶剥离工序中会产生剥离废液，为了提高光刻胶剥离废液中有效成分的回收效率，需要对光刻胶玻璃液进行分离。

实用新型内容

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种用于光刻胶剥离液的分离结构。

本实用新型提出的一种用于光刻胶剥离液的分离结构，包括：过滤主体、过滤挡板；

过滤主体包括多个过滤模块，多个过滤模块共同围成过滤通道，所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段，所述导流段内径从上向下逐渐减小，每个填料模块具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构，多层陶瓷丝网向远离所述过滤通道的方向依次布置；

过滤挡板位于过滤主体上方，过滤挡板与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道，过滤挡板朝向过滤主体一侧设有毛刷结构。

优选地，所述出流段内壁设有多个过滤片，过滤片沿所述出流段径向布置，多个过滤片沿所述出流段内壁沿圆周分布。

优选地，多个过滤片沿所述出流段内壁沿圆周均匀分布。

优选地，所述出流段内壁设有液流孔。

优选地，过滤挡板中部向下凹陷，其底面形状与所述导流段形状配合。

本实用新型中，所提出的用于光刻胶剥离液的分离结构，多个过滤模块共同围成过滤通道，所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段，所述导流段内径从上向下逐渐减小，每个填料模块具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构，多层陶瓷丝网向远离所述过滤通道的方向依次布置，过滤挡板位于过滤主体上方，过滤挡板与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道，过滤挡板朝向过滤主体一侧设有毛刷结构。通过上述优化设计的用于光刻胶剥离液的分离结构，结构设计优化合理，过滤挡板与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道，光刻胶剥离液在过滤挡板的作用下沿导流段表面流动，经过多层陶瓷丝网过滤分离，最终液体部分通过出流段流出，有效保证光刻胶剥离液的过滤分离。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于光刻胶剥离液的分离结构的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种用于光刻胶剥离液的分离结构的过滤主体的结构示意图。

具体实施方式

如图1和2所示，图1为本实用新型提出的一种用于光刻胶剥离液的分离结构的结构示意图，图2为本实用新型提出的一种用于光刻胶剥离液的分离结构的过滤主体的结构示意图。

参照图1和2，本实用新型提出的一种用于光刻胶剥离液的分离结构，包括：过滤主体、过滤挡板2；

过滤主体包括多个过滤模块1，多个过滤模块1共同围成过滤通道，所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段，所述导流段内径从上向下逐渐减小，每个填料模块具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构，多层陶瓷丝网向远离所述过滤通道的方向依次布置；

过滤挡板2位于过滤主体上方，过滤挡板2与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道，过滤挡板2朝向过滤主体一侧设有毛刷3结构。

本实施例的用于光刻胶剥离液的分离结构的具体工作过程中，在过滤挡板的作用下，光刻胶剥离液沿导流段表面流动，毛刷设计强迫光刻胶剥离液进入陶瓷丝网间隙内进行过滤，有效保证过滤效果。

在本实施例中，所提出的用于光刻胶剥离液的分离结构，多个过滤模块共同围成过滤通道，所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段，所述导流段内径从上向下逐渐减小，每个填料模块具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构，多层陶瓷丝网向远离所述过滤通道的方向依次布置，过滤挡板位于过滤主体上方，过滤挡板与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道，过滤挡板朝向过滤主体一侧设有毛刷结构。通过上述优化设计的用于光刻胶剥离液的分离结构，结构设计优化合理，过滤挡板与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道，光刻胶剥离液在过滤挡板的作用下沿导流段表面流动，经过多层陶瓷丝网过滤分离，最终液体部分通过出流段流出，有效保证光刻胶剥离液的过滤分离。

在具体实施方式中，所述出流段内壁设有多个过滤片4，过滤片4沿所述出流段径向布置，多个过滤片4沿所述出流段内壁沿圆周分布。