[实用新型]一种用于磁控溅射生产线上的PET镀膜工装有效
| 申请号： | 201721115691.5 | 申请日： | 2017-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN207391542U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 周泗海 | 申请（专利权）人： | 福建省辉锐电子技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磁控溅射 生产 线上 pet 镀膜 工装 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于磁控溅射生产线上的PET镀膜工装，其特征在于：包括PET膜片和固定安装PET膜片的镀膜工装，所述镀膜工装包括基板、分布在基板上的若干弹簧夹及设于基板一侧的气嘴，所述弹簧夹通过固定螺钉固锁在基板上面，所述气嘴通过自身的螺纹与基板连接，所述基板内部横向设置有一条主气管和纵向设置有若干条分气管，所述主气管与各分气管相连，所述主气管与基板一侧的气嘴相连，所述每条分气管上均匀分布有连通基板表面的气口。
2.根据权利要求1所述一种用于磁控溅射生产线上的PET镀膜工装，其特征在于：所述气嘴由气嘴开关与吸气口组成，所述吸气口外接抽气泵。
3.根据权利要求1所述一种用于磁控溅射生产线上的PET镀膜工装，其特征在于：所述基板上对应所述弹簧夹开设有相适配的固定槽，所述固定槽分布在基板四周及中部。
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