[实用新型]一种半导体制造模具有效
申请号: | 201721134200.1 | 申请日: | 2017-09-05 |
公开(公告)号: | CN207367922U | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 吴航锐 | 申请(专利权)人: | 东莞权科转影科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 谈杰 |
地址: | 523000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 制造 模具 | ||
本实用新型公开了一种半导体制造模具,其结构包括压板、顶板、定位板、固定吸盘,所述压板设有伸缩杆、承托板,所述顶板设有连接杆、防滑橡胶圈、垫片,所述定位板设有U型板,所述固定吸盘设有垫圈、连接头、螺旋连接杆、压紧螺母、轴圈、橡胶吸盘,本实用新型通过设有一种固定吸盘,能够将模具固定在桌面或工作台上,能够避免模具在工作过程中因为震动或人为触碰而移位,造成工程进度延误,影响产品质量。
技术领域
本实用新型是一种半导体制造模具,属于半导体制造模具领域。
背景技术
随着半导体行业的发展,新产品内存芯片体积减小,当前使用基板的设计和芯片粘贴位置,决定了封装设备使用现有模具作业时,环氧化树脂的流动不符合新产品的要求,导致树脂溢出到基板封装外侧,造成大量不良品产生,为了对应新产品生产,需要对现有模具进行改造,使环氧化树脂流向变更,确保品质稳定。
现有技术公开申请号为CN201420782997.6的一种半导体制造模具,本实用新型提供一种半导体制造模具,包括:模具板,具有用于设置半导体基板的设置面;多个环氧化树脂注胶沟道,设于所述设置面;多个定位销,在平行所述设置面的平面内延伸,用以定位半导体基板;多个真空管道,设于所述模具板,并从所述设置面向模具板内延伸,用于所述吸附半导体基板固定于设置面;从而突破了封装设备原有基板放置的局限性,能够在部件改造的情况下,达到基板逆向放置的效果。但是,现有技术设备不具有能够将模具固定在桌面或工作台上的装置,能够避免模具在工作过程中因为震动或人为触碰而移位,造成工程进度延误,影响产品质量。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种半导体制造模具,以解决现有技术不具有能够将模具固定在桌面或工作台上的装置,能够避免模具在工作过程中因为震动或人为触碰而移位,造成工程进度延误,影响产品质量的问题。
为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种半导体制造模具,其结构包括压板、顶板、定位板、固定吸盘,所述压板通过螺纹啮合连接于顶板下方,所述顶板通过螺栓铆合连接于定位板下方,所述定位板通过螺栓铆合连接于顶板上表面,所述固定吸盘嵌设于压板上,所述压板设有伸缩杆、承托板,所述伸缩杆通过螺纹啮合连接于压板与顶板之间,所述承托板通过螺栓铆合连接于压板上表面;所述顶板设有连接杆、防滑橡胶圈、垫片,所述连接杆通过螺纹啮合连接于顶板上表面四个对角上,所述防滑橡胶圈通过过盈配合连接连接杆与顶板之间,所述垫片通过螺栓铆合连接于连接杆顶部;所述定位板设有U型板,所述U型板通过螺栓铆合连接于定位板上表面;所述固定吸盘设有垫圈、连接头、螺旋连接杆、压紧螺母、轴圈、橡胶吸盘,所述垫圈通过螺纹啮合连接于连接头上方,所述连接头通过螺纹啮合连接于垫圈与螺旋连接杆之间,所述螺旋连接杆通过螺纹啮合连接于压紧螺母上,所述压紧螺母通过螺纹啮合连接于螺旋连接杆中心部分,所述轴圈通过螺纹啮合连接于螺旋连接杆底部,所述橡胶吸盘通过螺纹啮合连接于轴圈底部。
进一步的,所述压板为矩形结构,压板设有安装孔,所述安装孔均匀等距嵌设于压板上表面,安装孔设有旋转螺纹,所述旋转螺纹嵌设于安装孔内部,所述压板通过伸缩杆贯穿安装孔与旋转螺纹啮合连接于顶板底部。
进一步的,所述伸缩杆为圆形杆状结构,伸缩杆设有伸缩主杆,所述伸缩主杆设有安装孔,所述安装孔嵌设于伸缩主杆内部,所述伸缩主杆通过安装孔与伸缩支杆相连接,所述伸缩主杆设有旋转螺纹,所述旋转螺纹设于伸缩主杆顶部,所述伸缩主杆通过旋转螺纹啮合连接于顶板底部四个对角上。
进一步的,所述伸缩杆设有伸缩支杆,所述伸缩支杆为圆形杆状结构,伸缩支杆设有旋转螺纹,所述旋转螺纹均匀等距嵌设于伸缩支杆外表面,所述伸缩支杆通过旋转螺纹啮合连接于压板与伸缩主杆之间。
进一步的,所述顶板为矩形结构,顶板设有安装孔,所述安装孔均匀等距嵌设于顶板上表面,安装孔设有旋转螺纹,所述旋转螺纹嵌设于安装孔内部,所述顶板通过伸缩杆贯穿安装孔与旋转螺纹啮合连接于压板上方。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造