[实用新型]一种半导体制造模具有效

专利信息
申请号: 201721134200.1 申请日: 2017-09-05
公开(公告)号: CN207367922U 公开(公告)日: 2018-05-15
发明(设计)人: 吴航锐 申请(专利权)人: 东莞权科转影科技有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 谈杰
地址: 523000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 制造 模具
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体制造模具,其结构包括压板、顶板、定位板、固定吸盘,所述压板设有伸缩杆、承托板,所述顶板设有连接杆、防滑橡胶圈、垫片,所述定位板设有U型板,所述固定吸盘设有垫圈、连接头、螺旋连接杆、压紧螺母、轴圈、橡胶吸盘,本实用新型通过设有一种固定吸盘,能够将模具固定在桌面或工作台上,能够避免模具在工作过程中因为震动或人为触碰而移位,造成工程进度延误,影响产品质量。

技术领域

本实用新型是一种半导体制造模具,属于半导体制造模具领域。

背景技术

随着半导体行业的发展,新产品内存芯片体积减小,当前使用基板的设计和芯片粘贴位置,决定了封装设备使用现有模具作业时,环氧化树脂的流动不符合新产品的要求,导致树脂溢出到基板封装外侧,造成大量不良品产生,为了对应新产品生产,需要对现有模具进行改造,使环氧化树脂流向变更,确保品质稳定。

现有技术公开申请号为CN201420782997.6的一种半导体制造模具,本实用新型提供一种半导体制造模具,包括:模具板,具有用于设置半导体基板的设置面;多个环氧化树脂注胶沟道,设于所述设置面;多个定位销,在平行所述设置面的平面内延伸,用以定位半导体基板;多个真空管道,设于所述模具板,并从所述设置面向模具板内延伸,用于所述吸附半导体基板固定于设置面;从而突破了封装设备原有基板放置的局限性,能够在部件改造的情况下,达到基板逆向放置的效果。但是,现有技术设备不具有能够将模具固定在桌面或工作台上的装置,能够避免模具在工作过程中因为震动或人为触碰而移位,造成工程进度延误,影响产品质量。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种半导体制造模具,以解决现有技术不具有能够将模具固定在桌面或工作台上的装置,能够避免模具在工作过程中因为震动或人为触碰而移位,造成工程进度延误,影响产品质量的问题。

为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种半导体制造模具,其结构包括压板、顶板、定位板、固定吸盘,所述压板通过螺纹啮合连接于顶板下方,所述顶板通过螺栓铆合连接于定位板下方,所述定位板通过螺栓铆合连接于顶板上表面,所述固定吸盘嵌设于压板上,所述压板设有伸缩杆、承托板,所述伸缩杆通过螺纹啮合连接于压板与顶板之间,所述承托板通过螺栓铆合连接于压板上表面;所述顶板设有连接杆、防滑橡胶圈、垫片,所述连接杆通过螺纹啮合连接于顶板上表面四个对角上,所述防滑橡胶圈通过过盈配合连接连接杆与顶板之间,所述垫片通过螺栓铆合连接于连接杆顶部;所述定位板设有U型板,所述U型板通过螺栓铆合连接于定位板上表面;所述固定吸盘设有垫圈、连接头、螺旋连接杆、压紧螺母、轴圈、橡胶吸盘,所述垫圈通过螺纹啮合连接于连接头上方,所述连接头通过螺纹啮合连接于垫圈与螺旋连接杆之间,所述螺旋连接杆通过螺纹啮合连接于压紧螺母上,所述压紧螺母通过螺纹啮合连接于螺旋连接杆中心部分,所述轴圈通过螺纹啮合连接于螺旋连接杆底部,所述橡胶吸盘通过螺纹啮合连接于轴圈底部。

进一步的,所述压板为矩形结构,压板设有安装孔,所述安装孔均匀等距嵌设于压板上表面,安装孔设有旋转螺纹,所述旋转螺纹嵌设于安装孔内部,所述压板通过伸缩杆贯穿安装孔与旋转螺纹啮合连接于顶板底部。

进一步的,所述伸缩杆为圆形杆状结构,伸缩杆设有伸缩主杆,所述伸缩主杆设有安装孔,所述安装孔嵌设于伸缩主杆内部,所述伸缩主杆通过安装孔与伸缩支杆相连接,所述伸缩主杆设有旋转螺纹,所述旋转螺纹设于伸缩主杆顶部,所述伸缩主杆通过旋转螺纹啮合连接于顶板底部四个对角上。

进一步的,所述伸缩杆设有伸缩支杆,所述伸缩支杆为圆形杆状结构,伸缩支杆设有旋转螺纹,所述旋转螺纹均匀等距嵌设于伸缩支杆外表面,所述伸缩支杆通过旋转螺纹啮合连接于压板与伸缩主杆之间。

进一步的,所述顶板为矩形结构,顶板设有安装孔,所述安装孔均匀等距嵌设于顶板上表面,安装孔设有旋转螺纹,所述旋转螺纹嵌设于安装孔内部,所述顶板通过伸缩杆贯穿安装孔与旋转螺纹啮合连接于压板上方。

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