[实用新型]一种蚀刻板清洁装置有效
申请号: | 201721138588.2 | 申请日: | 2017-09-06 |
公开(公告)号: | CN207357700U | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 曾旭 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司;宁波东顺电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B7/00 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 315000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 清洁 装置 | ||
1.一种蚀刻板清洁装置,其特征在于:包括清洁箱、风箱和输送装置;
所述输送装置包括气缸、伸缩杆和移动架;所述气缸固定在所述风箱内部,所述伸缩杆一端与所述气缸相连接,所述伸缩杆的另一端与所述移动架相连接,蚀刻板固定在所述移动架内;
所述风箱内设有多个吹风装置,所述风箱的一个侧壁与所述清洁箱相连接,所述风箱与所述清洁箱之间设有一块活动隔板;
所述清洁箱内设有若干组清洁辊,每组所述清洁辊包括上清洁辊和下清洁辊,所述上清洁辊和所述下清洁辊的表面设有一层粘性薄膜,所述上清洁辊的转轴与所述下清洁辊的转轴相互平行设置,所述蚀刻板从所述上清洁辊与所述下清洁辊之间通过。
2.根据权利要求1所述的一种蚀刻板清洁装置,其特征在于:所述移动架内与所述风箱相对表面设有一个凹槽,所述凹槽内固定有一个夹具,所述蚀刻板装夹在所述夹具内。
3.根据权利要求2所述的一种蚀刻板清洁装置,其特征在于:所述夹具内设有多个装夹槽,多块所述蚀刻板固定在所述装夹槽内。
4.根据权利要求3所述的一种蚀刻板清洁装置,其特征在于:所述夹具内设有6个装夹槽,6个所述装夹槽具有相同的宽度。
5.根据权利要求1所述的一种蚀刻板清洁装置,其特征在于:所述伸缩杆共有两条,两条所述伸缩杆分别固定在所述移动架的两端。
6.根据权利要求1所述的一种蚀刻板清洁装置,其特征在于:所述清洁箱内设有两组清洁辊,分别为第一清洁辊组和第二清洁辊组,所述第一清洁辊组靠近所述清洁箱的出口,所述第二清洁辊组靠近所述活动隔板,所述第一清洁辊组和所述第二清洁辊组具有相同的高度。
7.根据权利要求1所述的一种蚀刻板清洁装置,其特征在于:所述清洁箱和所述风箱均为长方体箱体结构,所述风箱和所述清洁箱相连接的侧壁具有相同的面积。
8.根据权利要求1所述的一种蚀刻板清洁装置,其特征在于:所述上清洁辊与所述下清洁辊均水平布置。
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