[实用新型]一种蚀刻板清洁装置有效
申请号: | 201721138588.2 | 申请日: | 2017-09-06 |
公开(公告)号: | CN207357700U | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 曾旭 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司;宁波东顺电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B7/00 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 315000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 清洁 装置 | ||
本实用新型涉及一种蚀刻板清洁装置,包括清洁箱、风箱和输送装置;输送装置包括气缸、伸缩杆和移动架;气缸固定在风箱内部,伸缩杆一端与气缸相连接,伸缩杆的另一端与移动架相连接,蚀刻板固定在移动架内;风箱内设有多个吹风装置,风箱的一个侧壁与清洁箱相连接,风箱与清洁箱之间设有一块活动隔板;清洁箱内设有若干组清洁辊,每组清洁辊包括上清洁辊和下清洁辊,上清洁辊和下清洁辊的表面设有一层粘性薄膜,上清洁辊的转轴与下清洁辊的转轴相互平行设置,蚀刻板从上清洁辊与下清洁辊之间通过。本实用新型所述的蚀刻板清洁装置具有双重清洁过程,能够减少粘性薄膜的更换,节省了清洁成本也提高了清洁效率。
技术领域
本实用新型涉及清洁设备领域,具体涉及一种蚀刻板清洁装置。
背景技术
现有的蚀刻过程中,涂敷感光胶方法是将加工好的蚀刻片直接放入涂敷机的滚轮上,滚轮转动后将感光胶直接涂敷在蚀刻片上,这种方法的主要缺点是:直接加工好的蚀刻片表面通常存在加工屑和各类灰尘,如果将蚀刻片直接放入涂敷机的滚轮上,将感光胶直接涂敷在蚀刻板上,蚀刻片表面原有的加工屑和各类灰尘,就会同感光胶一起固着在蚀刻板表面上。这些加工屑和各类灰尘存在于感光胶中,影响感光胶的涂敷质量,导致在蚀刻时出现各类蚀刻缺陷。
现有的设备中,存在一种蚀刻前清洁装置,这种装置主要通过将蚀刻板通过具有粘性的滚轮,清楚蚀刻板上的灰尘。这种装置虽然能够清楚蚀刻板上的灰尘,但是也存在以下几个问题:首先蚀刻板表面的灰尘有的附着比较牢固,有的附着并不牢固,如果全部通过粘性薄膜除去,会导致粘性薄膜频繁的更换,如果不及时更换就会影响清洁效果,加大了粘性薄膜的用量,也降低了清洁效率;其次原有的清洁设备中没有涉及蚀刻板的运送装置,也没有蚀刻板夹具等结构,蚀刻板的运送效率较低,清洁效率也低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于,提供一种蚀刻板清洁装置,解决以上技术问题;
本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
一种蚀刻板清洁装置,包括清洁箱、风箱和输送装置;
所述输送装置包括气缸、伸缩杆和移动架;所述气缸固定在所述风箱内部,所述伸缩杆一端与所述气缸相连接,所述伸缩杆的另一端与所述移动架相连接,蚀刻板固定在所述移动架内;
所述风箱内设有多个吹风装置,所述风箱的一个侧壁与所述清洁箱相连接,所述风箱与所述清洁箱之间设有一块活动隔板;
所述清洁箱内设有若干组清洁辊,每组所述清洁辊包括上清洁辊和下清洁辊,所述上清洁辊和所述下清洁辊的表面设有一层粘性薄膜,所述上清洁辊的转轴与所述下清洁辊的转轴相互平行设置,所述蚀刻板从所述上清洁辊与所述下清洁辊之间通过。
进一步地,所述移动架内与所述风箱相对表面设有一个凹槽,所述凹槽内固定有一个夹具,所述蚀刻板装夹在所述夹具内。
进一步地,所述夹具内设有多个装夹槽,多块所述蚀刻板固定在所述装夹槽内。
进一步地,所述夹具内设有6个装夹槽,6个所述装夹槽具有相同的宽度。
进一步地,所述伸缩杆共有两条,两条所述伸缩杆分别固定在所述移动架的两端。
进一步地,所述清洁箱内设有两组清洁辊,分别为第一清洁辊组和第二清洁辊组,所述第一清洁辊组靠近所述清洁箱的出口,所述第二清洁辊组靠近所述活动隔板,所述第一清洁辊组和所述第二清洁辊组具有相同的高度。
进一步地,所述清洁箱和所述风箱均为长方体箱体结构,所述风箱和所述清洁箱相连接的侧壁具有相同的面积。
进一步地,所述上清洁辊与所述下清洁辊均水平布置。
有益效果:由于采用以上技术方案,本实用新型所述的蚀刻板清洁装置具有完整的输送、吹风以及清洁结构,自动化程度高,清洁效率高。
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