[实用新型]硅片分片吸盘组件

说明书

本实用新型公开了一种硅片分片吸盘组件，涉及硅片装卸技术领域，包括若干个吸盘以及吸盘固定装置，所述吸盘包括固定部以及吸片部，固定部通过吸盘固定装置进行固定，固定部上设置有贯穿其表面的通孔，相邻吸盘的固定部的侧面紧密贴合设置，且所有固定部的通孔之间互相连通，吸盘的其中一个表面设置有第一凹槽，吸盘的内部设置有连通第一凹槽和通孔的气体通道。使用时，通孔中接入负压，负压气体经过气体通道进入吸盘的吸片部，吸片部可以插入花篮中的两个料槽之间，从靠近吸片部的硅片吸附，吸附后可以通过气缸将整个组件抬升，从而将被吸附与未被吸附的硅片分离。

技术领域

本实用新型涉及硅片装卸技术领域，具体涉及一种硅片分片吸盘组件。

背景技术

花篮在硅片是硅片运输过程中的重要工具，每个花篮中放置的硅片数量也不相同，随着硅片加工工艺要求要来越高，其加工工艺也越来越复杂，硅片装卸装置的要求也越来越高，现有工艺中有需求将一个花篮中位于一个凹槽中的两片硅片进行分片，而现有的硅片分片传送装置，如专利授权公告号为CN104609146的专利公开的硅片分片传送装置，均无法满足，均分为两组的要求。

实用新型内容

本是用新型要解决的技术问题是提供一种可将花篮或者料盒凹槽中两片重叠的硅片进行分片的吸盘组件。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是；一种硅片分片吸盘组件，包括若干个吸盘以及吸盘固定装置，所述吸盘包括固定部以及吸片部，固定部通过吸盘固定装置进行固定，固定部上设置有贯穿其表面的通孔，相邻吸盘的固定部的侧面紧密贴合设置，且所有固定部的通孔之间互相连通，吸盘的其中一个表面设置有第一凹槽，吸盘的内部设置有连通第一凹槽和通孔的气体通道。

进一步的，所述吸盘上与第一凹槽相对的一面设一个凹陷部和盖合在凹陷部上的盖板，在凹陷部中还设置有与第一凹槽一一对应的第二凹槽，第二凹槽一端连通通孔，另一端延伸至第一凹槽对应位置，第一凹槽和第二凹槽通过气孔连通。

进一步的，所述第一凹槽呈环形。

进一步的，每个吸盘上均设置有两个第一凹槽和第二凹槽。

进一步的，所述吸盘固定装置包括固定板、限位柱以及锁紧块，吸盘固定部设置有固定孔，限位柱穿过固定孔将吸盘固定，锁紧块设置在限位柱的两端将吸盘锁紧，锁紧块固定在固定板上，固定板用于连接外部设备。

进一步的，所述盖板向上延伸至通孔处。

进一步的，所述吸盘的吸片部边缘处呈楔形状。

进一步的，所述吸盘设置有盖板的一侧粘贴有密封膜。

从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点：使用时，通孔中接入负压，负压气体经过气体通道进入吸盘的吸片部，吸片部可以插入花篮中的两个料槽之间，从靠近吸片部的的硅片吸附，吸附后可以通过气缸将整个组件抬升，从而将被吸附与未被吸附的硅片分离，每个吸盘上均可以设置至少两个第一凹槽和第二凹槽，增加吸附点，可以增加吸附的稳定性。盖板向上延伸至通孔处，采用该结构，盖板与无需通过螺钉与吸盘进行固定，将盖板与吸盘盖合后，利用锁紧块可以将吸盘和盖板锁死，不会发生轴上的松动。

附图说明

图1为本实用新型的机构示意图(图中吸盘未全部画出)

图2为本实用新型中吸盘的结构示意图；

图3为本实用新型中吸盘的结构示意图；

图4为图3的局部放大图示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。