[实用新型]提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备

权利要求书

1.一种提升机构，其特征在于，包括至少两条并排设置的提升流水线，所述提升流水线包括单轴机器人及用于容纳硅片花篮的托架，所述单轴机器人连接于所述托架，用于带动所述托架直线升降移动；所述托架包括固定板、底座、及顶板，所述固定板与所述单轴机器人相连，所述底座及顶板相对设置，且分别固定于所述固定板竖直向的两端处；所述底座内设置有输送带，所述输送带的输送方向为所述提升流水线的排布方向；所述顶板上设置有顶部定位组件，所述顶部定位组件包括顶部驱动件及定位杆，所述定位杆竖直设置，且沿竖直向滑动连接于所述顶板，所述顶部驱动件固定于所述顶板，所述顶部驱动件与所述定位杆传动连接，以驱动所述定位杆竖直移动。

2.根据权利要求1所述的提升机构，其特征在于，所述顶部驱动件为顶部气缸，所述顶部驱动件固定在所述顶板的上表面，所述顶部驱动件的活塞杆朝上设置，且与所述定位杆平行设置，所述活塞杆的顶部与所述定位杆的顶部通过连接杆固定连接。

3.根据权利要求1所述的提升机构，其特征在于，所述硅片花篮的顶部设置有锥形槽，所述定位杆的底部设置有定位块，所述定位块的底部为与所述锥形槽相配合的锥台形；当所述定位杆向下移动时，所述定位块的底部插入至所述锥形槽中。

4.根据权利要求1－3任一项所述的提升机构，其特征在于，所述底座设置有底部定位组件，所述底部定位组件包括定位板及底部气缸，所述定位板与所述顶板平行设置，用于支撑于所述硅片花篮的下方；所述定位板沿竖直方向滑动连接于所述底座，所述底部气缸与所述底座固定连接，所述底部气缸的活塞杆与所述定位板固定连接，以驱动所述定位板竖直移动。

5.根据权利要求4所述的提升机构，其特征在于，所述输送带为并排设置的两条，所述底部定位组件位于两条输送带之间。

6.根据权利要求1－3任一项所述的提升机构，其特征在于，所述底座上设置有用于检测所述硅片花篮位置的位置检测器。

7.一种输送装置，用于输送硅片花篮，其特征在于，包括权利要求1－6任一项所述的提升机构。

8.根据权利要求7所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置还包括水平输送机构，所述水平输送机构的输送方向为所述提升流水线的排布相向，用于将所述硅片花篮水平输送至所述托架中。

9.一种硅片自动输送制造设备，其特征在于，包括权利要求7或8所述的输送装置。