[实用新型]提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备有效

专利信息
申请号: 201721159540.X 申请日: 2017-09-11
公开(公告)号: CN207489832U 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: 李峰;陈海国;梁蔚;王习文 申请(专利权)人: 深圳市旭控科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 518000 广东省深圳市南山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 硅片花篮 定位杆 托架 顶部驱动 提升机构 流水线 顶部定位组件 单轴机器人 输送装置 制造设备 自动输送 固定板 硅片 底座 输送带 本实用新型 驱动 并排设置 定位杆沿 滑动连接 竖直移动 向下移动 容差性 上下料 竖直 移出 移入 移动
【说明书】:

实用新型公开了一种提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备。提升机构包括至少两条并排设置的提升流水线,提升流水线包括单轴机器人及托架,托架包括固定板、底座、及顶板,固定板与单轴机器人相连,底座内设置有输送带,以方便硅片花篮在托架中的移入和移出;顶板上设置有顶部定位组件,顶部定位组件包括顶部驱动件及定位杆,定位杆沿竖直向滑动连接于顶板,顶部驱动件驱动定位杆竖直移动。各提升流水线可以分别带动硅片花篮移动,方便使用,且利于后期上下料作业;定位杆在顶部驱动件的驱动下向下移动,可以将硅片花篮定位在托架中,提高提升的稳定性;定位杆可以将不同高度的硅片花篮定位,以适用于不同高度的硅片花篮,容差性较好。

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片加工设备领域,尤其涉及一种提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备。

背景技术

在太阳能硅片自动加工制造设备中,需要对硅片进行搬运输送,例如水平输送、提升输送,因而会使用到提升机构对硅片进行竖直向的输送。现有的硅片提升机构多采用托盘形式实现硅片的花篮上下移动,通常两个花篮为一组,一组内的两个花篮同时上下运动,使用不方便,特别是花篮高度不统一时,不能兼容不同高度的花篮,容错性不好,会导致后续人工上下料不便的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于,提供一种提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备,各组内的花篮可以独立上下运动,解决了后续上下料不便的问题,同时容错性较好。

为了解决上述技术问题,一方面,本实用新型的实施例提供了一种提升机构,包括至少两条并排设置的提升流水线,所述提升流水线包括单轴机器人及用于容纳硅片花篮的托架,所述单轴机器人连接于所述托架,用于带动所述托架直线升降移动;所述托架包括固定板、底座、及顶板,所述固定板与所述单轴机器人相连,所述底座及顶板相对设置,且分别固定于所述固定板竖直向的两端处;所述底座内设置有输送带,所述输送带的输送方向为所述提升流水线的排布方向;所述顶板上设置有顶部定位组件,所述顶部定位组件包括顶部驱动件及定位杆,所述定位杆竖直设置,且沿竖直向滑动连接于所述顶板,所述顶部驱动件固定于所述顶板,所述顶部驱动件与所述定位杆传动连接,以驱动所述定位杆竖直移动。

其中,所述顶部驱动件为顶部气缸,所述顶部驱动件固定在所述顶板的上表面,所述顶部驱动件的活塞杆朝上设置,且与所述定位杆平行设置,所述活塞杆的顶部与所述定位杆的顶部通过连接杆固定连接。

其中,所述硅片花篮的顶部设置有锥形槽,所述定位杆的底部设置有定位块,所述定位块的底部为与所述锥形槽相配合的锥台形;当所述定位杆向下移动时,所述定位块的底部插入至所述锥形槽中。

其中,所述底座设置有底部定位组件,所述底部定位组件包括定位板及底部气缸,所述定位板与所述顶板平行设置,用于支撑于所述硅片花篮的下方;所述定位板沿竖直方向滑动连接于所述底座,所述底部气缸与所述底座固定连接,所述底部气缸的活塞杆与所述定位板固定连接,以驱动所述定位板竖直移动。

其中,所述输送带为并排设置的两条,所述底部定位组件位于两条输送带之间。

其中,所述底座上设置有用于检测所述硅片花篮位置的位置检测器。

第二方面,本实用新型提供了一种输送装置,用于输送硅片花篮,其包括前述的提升机构。

其中,所述输送装置还包括水平输送机构,所述水平输送机构的输送方向为所述提升流水线的排布相向,用于将所述硅片花篮水平输送至所述托架中。

第三方面,本实用新型提供了一种硅片自动输送制造设备,其包括前述的输送装置。

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