[实用新型]一种薄膜检测装置有效
| 申请号： | 201721160275.7 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN207779343U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 黄宜宝 | 申请（专利权）人： | 广州市帝麦思电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 黄华莲;郝传鑫 |
| 地址： | 510000 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 吸合装置 薄膜干燥 激光干涉仪 翻转机构 薄膜检测装置 本实用新型 送风机构 激光 柔性吸附层 薄膜表面 薄膜检测 测量薄膜 加热机构 加热装置 吸收薄膜 整体翻转 水汽 平整度 检测 反射 发射 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜检测装置，其特征在于，包括检测平台、薄膜吸合装置、薄膜干燥装置、薄膜翻转机构、激光干涉仪；其中：
薄膜吸合装置、薄膜干燥装置、薄膜翻转机构、激光干涉仪设置在检测平台上；
薄膜吸合装置上设置有柔性吸附层；
薄膜干燥装置包括加热机构和送风机构；
薄膜翻转机构与薄膜吸合装置连接，用于将薄膜吸合装置整体翻转预定角度；
激光干涉仪用于向待测薄膜发射激光，接收从待测薄膜反射回的激光，以测量薄膜厚度和平整度。
2.根据权利要求1所述的薄膜检测装置，其特征在于，所述薄膜吸合装置包括静电产生机构，用于产生静电，以吸合薄膜。
3.根据权利要求1所述的薄膜检测装置，其特征在于，所述薄膜吸合装置还包括静电消除机构，用于消除静电，以松开薄膜。
4.根据权利要求1所述的薄膜检测装置，其特征在于，所述激光干涉仪包括数据处理终端和光学模块，所述光学模块与数据处理终端连接。
5.根据权利要求4所述的薄膜检测装置，其特征在于，所述数据处理终端包括显示器和微处理器，所述微处理器和显示器连接。
6.根据权利要求4所述的薄膜检测装置，其特征在于，所述激光干涉仪为斐索干涉仪。
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