[实用新型]一种薄膜检测装置

说明书

本实用新型公开了一种薄膜检测装置，包括检测平台、薄膜吸合装置、薄膜干燥装置、薄膜翻转机构、激光干涉仪；薄膜吸合装置、薄膜干燥装置、薄膜翻转机构、激光干涉仪设置在检测平台上；薄膜吸合装置上设置有柔性吸附层；薄膜干燥装置包括加热机构和送风机构；薄膜翻转机构与薄膜吸合装置连接，用于将薄膜吸合装置整体翻转预定角度；激光干涉仪用于向待测薄膜发射激光，接收从待测薄膜反射回的激光，以测量薄膜厚度和平整度。本实用新型通过设置薄膜干燥装置，通过加热装置吸收薄膜表面的水汽，通过送风机构吹走薄膜表面的灰尘，从而使薄膜检测结果更准确。

技术领域

本实用新型涉及薄膜检测，尤其涉及一种薄膜检测装置。

背景技术

在薄膜制造及加工业，检测薄膜的平整度是最常见的薄膜检测指标之一，平整度检测又多分为薄膜平整度检测以及涂层平整度检测两类。由于薄膜的平整度是各层树脂平整度的总和，如果薄膜的整体平整度均匀性差，其中各层树脂的平整度分布也会存在差异。毫无疑问，对涂层厚度的检测将更有利于有效控制薄膜各层的平整度均匀性，但对于多层薄膜若想精确测量每一涂层的厚度和平整度，在相应的平整度检测设备上就需要有非常大的投资，并随着薄膜层数的增长而加大，给企业带来较大的经济负担。比较经济的方式是对部分价格昂贵的涂层材料进行涂层平整度的检测，同时加强对薄膜整体厚度和平整度的测试以达到有效控制其他各层材料平整度均匀性的作用。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种薄膜检测装置，包括检测平台、薄膜吸合装置、薄膜干燥装置、薄膜翻转机构、激光干涉仪；其中：

薄膜吸合装置、薄膜干燥装置、薄膜翻转机构、激光干涉仪设置在检测平台上；

薄膜吸合装置上设置有柔性吸附层；

薄膜干燥装置包括加热机构和送风机构；

薄膜翻转机构与薄膜吸合装置连接，用于将薄膜吸合装置整体翻转预定角度；

激光干涉仪用于向待测薄膜发射激光，接收从待测薄膜反射回的激光，以测量薄膜厚度和平整度。

进一步地，所述薄膜吸合装置包括静电产生机构，用于产生静电，以吸合薄膜。

进一步地，所述薄膜吸合装置还包括静电消除机构，用于消除静电，以松开薄膜。

进一步地，所述激光干涉仪包括数据处理终端和光学模块，所述光学模块与数据处理终端连接。

进一步地，所述数据处理终端包括显示器和微处理器，所述微处理器和显示器连接。

进一步地，所述激光干涉仪为斐索干涉仪。

综上所述，本实用新型通过设置薄膜吸合装置能够在需要测量时，吸合塑料薄膜，并在不需要测量时，取消对薄膜的吸合；本实用新型通过设置薄膜干燥装置，通过加热装置吸收薄膜表面的水汽，通过送风机构吹走薄膜表面的灰尘，从而使薄膜检测结果更准确；本实用新型通过设置激光干涉仪，非接触式的检测薄膜，不伤害或损坏薄膜。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案和优点，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。

图1是本实用新型提供的薄膜检测装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。