[实用新型]一种双面曝光机

权利要求书

1.一种双面曝光机，包括外壳(1)，其特征在于，所述外壳(1)内设置有工作平台(12)，所述工作平台(12)上设置有芯片夹具，所述芯片夹具内放置有下层光刻板(65)和上层光刻板(64)，所述上层光刻板(64)和下层光刻板(65)之间放置有待曝光的晶闸管芯片(11)，所述上层光刻板(64)的上部空间设置有上部曝光灯(8)，所述下层光刻板的下部空间设置有下部曝光灯(3)。

2.根据权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述芯片夹具包括上板架(63)和下板架(62)，所述上板架(63)和下板架(62)为中空结构，所述中空结构大于晶闸管芯片(11)的曝光尺寸，所述中空结构小于上层光刻板(64)和下层光刻板(65)的尺寸，所述上板架(63)和下板架(62)之间从上到下依次为上层光刻板(64)、晶闸管芯片(11)和下层光刻板(65)。

3.根据权利要求2所述的双面曝光机，其特征在于，所述芯片夹具还包括弹簧拉杆(66)，所述弹簧拉杆(66)固定在下板架(62)上，所述弹簧拉杆(66)的一端为施力端(662)，另一端为顶尖(661)；

所述下板架设置有第一挡边(621)和第二挡边(622)，所述第一挡边(621)与第二挡边(622)相交形成直角凹槽，所述上板架(63)设置在下板架的直角凹槽内，所述弹簧拉杆(66)的顶尖(661)与上板架(63)沿直角凹槽的对角线的另一端相抵触。

4.根据权利要求3所述的双面曝光机，其特征在于，所述上板架与弹簧拉杆顶尖相抵触的一端为平面结构。

5.根据权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，还包括导轨(5)和导轨支架(4)，所述导轨(5)安装在导轨支架(4)上，所述导轨支架(4)安装在工作平台(12)上，所述导轨(5)与芯片夹具底座(61)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，还包括遮光板(10)，所述遮光板(10)与芯片夹具底座(61)固定连接。

7.根据权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，还包括推拉门(7)，所述推拉门(7)设置于外壳(1)的外侧，所述推拉门(7)与芯片夹具底座(61)固定连接。