[实用新型]具有稳定工作状态的离子束抛光机有效
申请号: | 201721170980.5 | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN207139439U | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 倪磊;倪晋 | 申请(专利权)人: | 成都睿坤科技有限公司 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人: | 马碧娜 |
地址: | 610000 四川省成都市双流西*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 稳定 工作 状态 离子束 抛光机 | ||
1.具有稳定工作状态的离子束抛光机,包括放电腔(1)、位于放电腔(1)内的阳极板(2)、以及设置在放电腔(1)出口端的若干层格栅板(3),最外层格栅板(3)上设置安装块(4),所述安装块(4)上设置钨丝(5),所述钨丝(5)的一端伸出至安装块(4)外侧,其特征在于,所述安装块(4)的侧面设置若干方槽(6),所述方槽(6)的开口方向朝向钨丝(5)伸出至安装块(4)外侧的方向。
2.根据权利要求1所述的具有稳定工作状态的离子束抛光机,其特征在于,相邻两块格栅板(3)之间固定连接陶瓷球(7)。
3.根据权利要求1所述的具有稳定工作状态的离子束抛光机,其特征在于,所述格栅板(3)呈圆形,格栅板(3)上的通孔(31)分布在格栅板(3)中心位置。
4.根据权利要求1所述的具有稳定工作状态的离子束抛光机,其特征在于,所述阳极板(2)通过导线电连接至放电腔(1)外部。
5.根据权利要求1所述的具有稳定工作状态的离子束抛光机,其特征在于,所述放电腔(1)上设置输气口(8)。
6.根据权利要求1所述的具有稳定工作状态的离子束抛光机,其特征在于,所述钨丝(5)还固定连接在放电腔(1)外壁上。
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