[实用新型]具有稳定工作状态的离子束抛光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及离子束抛光机领域，具体涉及具有稳定工作状态的离子束抛光机。

背景技术

所谓离子束抛光，就是把惰性气体，如氩、氮等放在密闭空间中，用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用5千至10万伏高电压对这些正离子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束,形成高能量密度离子流，在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面，从其表面把工件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法实现对工件表面进行深度从100埃到10微米左右的精密加工。现有的小型离子束抛光机，大都在放电腔的出口端设置格栅板，格栅板外设置钨丝作为阴极，阳极设置在放电腔内，实现透过格栅板的电离，通过格栅板实现离子束的生成。然而，现有技术中，由于钨丝无法单独设置，都需要在格栅板外设置安装块来固定钨丝，钨丝的一端悬空在安装块外，在工作过程中，由于钨丝温度极高，钨丝会逐渐处于熔融状态，甚至会端部下坠搭靠在格栅板上，同时钨丝电离过程中会产生大量正离子，这些离子会附着在格栅板、安装块表面，时间稍长就会铺满格栅板和安装块表面，形成导体，并与搭靠在格栅板上的钨丝构成一个完整的回路，导致钨丝被短路，无法正常电离出阳离子，导致离子束抛光机无法在较长时间内保持正常工作，需要间隔工作时间进行清理。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供具有稳定工作状态的离子束抛光机，以解决现有技术中离子束抛光机无法长时间正常工作的问题，实现提高离子束抛光机的正常工作时长、降低清理频率的目的。

本实用新型通过下述技术方案实现：

具有稳定工作状态的离子束抛光机，包括放电腔、位于放电腔内的阳极板、以及设置在放电腔出口端的若干层格栅板，最外层格栅板上设置安装块，所述安装块上设置钨丝，所述钨丝的一端伸出至安装块外侧，所述安装块的侧面设置若干方槽，所述方槽的开口方向朝向钨丝伸出至安装块外侧的方向。

针对现有技术中离子束抛光机无法长时间正常工作的问题，本实用新型提出一种具有稳定工作状态的离子束抛光机，放电腔内设置阳极板，钨丝作为阴极设置在安装块上，阴极与阳极之间的连接方式不属于本实用新型的保护范围，任何现有的电连接方式即可。放电腔的出口端设置若干层格栅板，便于离子穿过，安装块设置在最外层的格栅板上。本实用新型在安装块的侧面设置若干向内凹陷的方槽，并且使得方槽的开口方向朝着钨丝伸出方向，因此钨丝电离而成的阳离子附着在格栅板和安装块表面后，由于方槽的存在，阳离子非常不便进入凹槽中，非常不便铺满整个凹槽的各表面，因此使得成片连通的阳离子在凹槽处被切断，即使钨丝的自由端下坠搭靠在格栅板表面，也无法在短时间内构成对钨丝的短路现象，因此极大的提高了离子束抛光机的正常工作时长，极大的降低了清理频率，使得离子束抛光机的使用效率得到了显著提升。

进一步的，相邻两块格栅板之间固定连接陶瓷球。相较于传统技术中仅使用螺栓等进行连接的方式，本实用新型还通过固定的陶瓷球对相邻两块格栅板进行连接，极大的提高了格栅板之间的连接稳定性，同时还提高了承载与受力性能，因此提高了离子束抛光机的整体强度。

优选的，所述格栅板呈圆形，格栅板上的通孔分布在格栅板中心位置。格栅板上的通孔用于让离子通过，因此将其集中在圆形的格栅板的中心位置，会提高离子束的集中率，提高离子束轰击抛光的效果。

优选的，所述阳极板通过导线电连接至放电腔外部。

优选的，所述放电腔上设置输气口。通过输气口便于连续不断的向放电腔内供入惰性气体，从而配合本实用新型较长的连续工作时长，进行连续不间断的抛光作业。

优选的，所述钨丝还固定连接在放电腔外壁上。即是还将钨丝固定资放电腔的外壁上，进一步提高钨丝的结构稳定性。

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

本实用新型具有稳定工作状态的离子束抛光机，由于方槽的存在，阳离子非常不便进入凹槽中，非常不便铺满整个凹槽的各表面，因此使得成片连通的阳离子在凹槽处被切断，即使钨丝的自由端下坠搭靠在格栅板表面，也无法在短时间内构成对钨丝的短路现象，因此极大的提高了离子束抛光机的正常工作时长，极大的降低了清理频率，使得离子束抛光机的使用效率得到了显著提升。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：

图1为本实用新型具体实施例的结构示意图；