[实用新型]一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路

权利要求书

1.一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，其特征在于：该管路由一个螺纹接头（1）、一个喷水头（4）、若干直接头（2）和若干三通接头（3）组合而成，其中，螺纹接头（1）的一端具有与标准管路连接的螺纹套管（5），另一端具有球面凸接头（6），直接头（2）的两端分别具有球面凸接头（6）和球面凹接头（7），三通接头（3）的三个接口上分别与一个球面凹接头（7）和两个球面凸接头（6）连接，喷水头（4）为空心圆锥结构，且空心圆锥的底部与一球面凹接头（7）连接，在空心圆锥上设置有喷水板（8），喷水板（8）上分布有若干与空心圆锥内部的空腔连通的喷水孔（801）；所述螺纹接头（1）上的球面凸接头（6）、直接头（2）上的球面凸接头（6）和三通接头（3）上的球面凸接头（6）结构和大小均相同，所述直接头（2）上的球面凹接头（7）、三通接头（3）上的球面凹接头（7）和喷水头（4）上的球面凹接头（7）结构和大小均相同，且每一个球面凸接头（6）均可插入任意一个球面凹接头（7）内，以使两者形成转动连接从而将不同的部件组合连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，其特征在于：所述球面凸接头（6）为具有贯通中空腔的球状或大于半球状的弧形体结构。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，其特征在于：所述球面凹接头（7）内部具有容纳球面凸接头（6）外表面的弧形腔，且该弧形腔的开口处形成弧形内缩，以使其开口小于内部，形成卡住球面凸接头（6）的缩口。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，其特征在于：所述三通接头（3）上通过加强筋（302）设置有固定管（301），固定管（301）通过与固定螺丝的配合实现三通接头（3）的固定。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，其特征在于：所述喷水板（8）与喷水头（4）的空心圆锥轴向平行，且设置在空心圆锥的中心位置。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，其特征在于：所述螺纹接头（1）、喷水头（4）、直接头（2）和三通接头（3）选用工程塑料制成，球面凸接头（6）与球面凹接头（7）之间形成过盈配合。