[实用新型]一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路

说明书

一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，该管路由一个螺纹接头、一个喷水头、若干直接头和若干三通接头组合而成，各部件之间通过相互配合的球面凸接头球面凹接头形成可拆卸转动连接。本实用新型不需要安装支架，通过螺纹接头、喷水头、若干直接头和若干三通接头根据需要组合连接而成，并将其固定安装在设备需要的位置，通过增减直接头和三通接头来调节管路的长短，各部件之间通过互相配合的球面凸接头与球面凹接头连接，从而使得其喷水方向能够根据需要随意调节，便于实现喷水的自动化。

技术领域

本实用新型涉及到单晶硅抛光片生产领域，具体的说是一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路。

背景技术

单晶硅抛光片是IC行业的基础材料，而抛光机、卸片台、传送台是生产抛光片不可或缺的主要设备之一。其中由日本FUJIKOSHI公司生产的SPM型抛光机、DMS卸片台和传送台、BBS公司生产的边抛机在目前国内的单晶硅抛光片制造厂商中得到广泛使用。SPM抛光机在工作时为了防止抛光液在压头结晶，需要对压头进行喷水；DMS卸片台的作用是把粘在陶瓷板上的硅片用卸片刀卸到片盒里，由于硅片的特性，从传送台到卸片台都需要对硅片和陶瓷板喷淋纯水，以保证硅片或陶瓷板的湿润；BBS边抛机对片子边缘进行抛光，设备有多个工位台子，每个工位台子加工完后都需要机械臂来移动片子，为了保持片子的湿润和洁净，需要多次对片子进行喷水。

传统的喷水方法主要有如下几种：（1）水枪喷水，在设备相关部位加装水枪，需要喷水时有操作人员拿起手持水枪对需要喷水的部位进行喷水，缺点是不能实行自动化，人为因素影响较大；（2）在需要喷水的位置安装支杆，在支杆上安装喷嘴，优点是便于实现自动化，缺点是由于支架位置固定，不便于根据现场需要对喷水方向调整。

实用新型内容

为解决现有单晶硅片生产中所用到的喷水管路存在的上述问题，本实用新型提供了一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，本喷水管路不需要安装支架，通过螺纹接头、喷水头、若干直接头和若干三通接头根据需要组合连接而成，并将其固定安装在设备需要的位置，通过增减直接头和三通接头来调节管路的长短，各部件之间通过互相配合的球面凸接头与球面凹接头连接，从而使得其喷水方向能够根据需要随意调节，便于实现喷水的自动化。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，该管路由一个螺纹接头、一个喷水头、若干直接头和若干三通接头组合而成，其中，螺纹接头的一端具有与标准管路连接的螺纹套管，另一端具有球面凸接头，直接头的两端分别具有球面凸接头和球面凹接头，三通接头的三个接口上分别与一个球面凹接头和两个球面凸接头连接，喷水头为空心圆锥结构，且空心圆锥的底部与一球面凹接头连接，在空心圆锥上设置有喷水板，喷水板上分布有若干与空心圆锥内部的空腔连通的喷水孔；所述螺纹接头上的球面凸接头、直接头上的球面凸接头和三通接头上的球面凸接头结构和大小均相同，所述直接头上的球面凹接头、三通接头上的球面凹接头和喷水头上的球面凹接头结构和大小均相同，且每一个球面凸接头均可插入任意一个球面凹接头内，以使两者形成转动连接从而将不同的部件组合连接。

本实用新型中，所述球面凸接头为具有贯通中空腔的球状或大于半球状的弧形体结构。

本实用新型中，所述球面凹接头内部具有容纳球面凸接头外表面的弧形腔，且该弧形腔的开口处形成弧形内缩，以使其开口小于内部，形成卡住球面凸接头的缩口。

本实用新型中，所述三通接头上通过加强筋设置有固定管，固定管通过与固定螺丝的配合实现三通接头的固定。

本实用新型中，所述喷水板与喷水头的空心圆锥轴向平行，且设置在空心圆锥的中心位置。

本实用新型中，所述螺纹接头、喷水头、直接头和三通接头选用工程塑料制成，球面凸接头与球面凹接头之间形成过盈配合。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：