[实用新型]带有压料装置的全自动探针台有效

专利信息
申请号: 201721172954.6 申请日: 2017-09-13
公开(公告)号: CN207181460U 公开(公告)日: 2018-04-03
发明(设计)人: 刘振辉;林生财;王胜利;杨波 申请(专利权)人: 深圳市矽电半导体设备有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 带有 装置 全自动 探针
【权利要求书】:

1.一种带有压料装置的全自动探针台,其特征在于,包括:

机架(1),所述机架(1)包括:第一台面(11)以及与所述第一台面(11)间隔布置的第二台面(12);

活动式装配于所述第一台面(11)的、位于所述第一台面(11)和所述第二台面(12)之间的、用于放置待测件并带动所述待测件移动的、以将所述待测件吸附固定的工作台(2);

设置于所述第二台面(12)上的、当放置有所述待测件的所述工作台(2)移动至一指定位置时将所述待测件压紧于所述工作台(2)上的压料装置(3);以及,

依次控制所述工作台(2)进行所述移动动作、所述压料装置(3)进行所述压紧动作及所述工作台(2)进行所述吸附动作的控制中心。

2.根据权利要求1所述的全自动探针台,其特征在于,所述压料装置(3)包括:

固定装配于所述第二台面(12)一侧的安装件(31);

与所述安装件(31)固定装配的、受所述控制中心控制的动力源组件(32);以及,

被所述动力源组件(32)驱动并抵压于所述待测件以将所述待测件压紧于所述工作台(2)上的抵压件(33)。

3.根据权利要求2所述的全自动探针台,其特征在于,所述抵压件(33)具有弹性以当所述压料装置(3)进行所述压紧动作时起到缓冲作用。

4.根据权利要求3所述的全自动探针台,其特征在于,所述抵压件(33)包括:

固定装配于所述动力源组件(32)的连接盘(331);

用于抵接所述待测件的压盘(332);以及,

若干设于所述连接盘(331)和所述压盘(332)之间的弹性件(333)。

5.根据权利要求4所述的全自动探针台,其特征在于,所述弹性件(333)为弹簧,所述抵压件(33)还包括:一端与所述连接盘(331)固定装配的、穿设于所述弹性件(333)内的、另一端与所述压盘(332)之间留有缓冲间隙的导柱(334)。

6.根据权利要求4所述的全自动探针台,其特征在于,所述连接盘(331)和所述压盘(332)均呈圆形状,所述弹性件(333)的数量为四组且与所述连接盘(331)、所述压盘(332)同轴线均匀布置。

7.根据权利要求2所述的全自动探针台,其特征在于,所述动力源组件(32)为竖向布置的气缸,所述抵压件(33)固定装配于所述气缸的伸缩杆。

8.根据权利要求2所述的全自动探针台,其特征在于,所述动力源组件(32)包括:

与所述安装件(31)固定装配的、竖向布置的竖板(321);

两条设于所述竖板(321)一侧表面的、竖向间隔平行布置的、供所述抵压件(33)滑动式装配的导轨(322);

设于所述竖板(321)的所述表面的、位于两条所述导轨(322)之间的、竖向布置且沿其竖向轴线自由旋转的丝杆(323);

螺纹装配于所述丝杆(323)的滑套(324);以及,

设于所述丝杆(323)一端驱使所述丝杆(323)转动的电机(325),

所述抵压件(33)固定装配于所述滑套(324)。

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