[实用新型]带有压料装置的全自动探针台

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子元器件检测技术领域，特别涉及一种带有压料装置的全自动探针台。

背景技术

全自动探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及电子元器件的质量测试。随着科技的发展，电子元器件的体积越来越小，通常将多个电子元器件集成于一片状的底板上以形成待测件，方便后续进行检测。

现有技术中，在对待测件进行检测之前，需要先将待测件放置于一开设有负压孔的工作台上，工作台内设有连通于负压孔以及一负压系统的通道，从而开启负压系统即可通过负压将待测件固定于工作台上，增加待测件相对于工作台的稳定性，以利于对待测件进行检测。

但是，直接将待测件放置于工作台上时，在待测件与工作台设有负压孔的表面之间易存在间隙的情况，从而即使开启负压系统由于间隙的存在，待测件也难以被吸附固定，进而不利于后续对其进行检测。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的是提供一种带有压料装置的全自动探针台，解决了待测件难以被工作台吸附固定，不利于后续检测待测件。

本实用新型第一方面提供一种带有压料装置的全自动探针台，包括：

机架，所述机架包括：第一台面以及与所述第一台面间隔布置的第二台面；

活动式装配于所述第一台面的、位于所述第一台面和所述第二台面之间的、用于放置待测件并带动所述待测件移动的、以将所述待测件吸附固定的工作台；

设置于所述第二台面上的、当放置有所述待测件的所述工作台移动至一指定位置时将所述待测件压紧于所述工作台上的压料装置；以及，

依次控制所述工作台进行所述移动动作、所述压料装置进行所述压紧动作及所述工作台进行所述吸附动作的控制中心。

实现上述方案的全自动探针台，在将待测件放置于工作台上后，工作台吸附固定待测件之前，控制中心控制工作台带动待测件移动至一指定位置，然后控制中心控制压料装置动作以将待测件压紧于工作台上，减小待测件和工作台之间的间隙，进而待测件易于被工作台吸附固定，增加了待测件的稳定性，有利于后续检测待测件。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述压料装置包括：

固定装配于所述第二台面一侧的安装件；

与所述安装件固定装配的、受所述控制中心控制的动力源组件；以及，

被所述动力源组件驱动并抵压于所述待测件以将所述待测件压紧于所述工作台上的抵压件。

实现上述方案的全自动探针台，安装件将动力源组件固定于第二台面，抵压件在动力源组件的带动下压紧待测件，从而压料装置不仅结构稳定，易于实现，而且易于控制及维修。

结合第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述抵压件具有弹性以当所述压料装置进行所述压紧动作时起到缓冲作用。

实现上述方案的全自动探针台，在抵压件具有弹性的前提下，抵压件压紧待测件时，由于缓冲作用不会将待测件上的电子元器件压伤；同时具有弹性的抵压件与待测件接触不到位时可自适应调整，进一步有利于后续检测待测件。

结合第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述抵压件包括：

固定装配于所述动力源组件的连接盘；

用于抵接所述待测件的压盘；以及，

若干设于所述连接盘和所述压盘之间的弹性件。

实现上述方案的全自动探针台，连接盘方便使抵压件固定安装于动力源组件，弹性件确保抵压件具有弹性，进而抵压件易于安装及拆卸，且结构简单、稳定。

结合第一方面的第三种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，所述弹性件为弹簧，所述抵压件还包括：一端与所述连接盘固定装配的、穿设于所述弹性件内的、另一端与所述压盘之间留有缓冲间隙的导柱。

实现上述方案的全自动探针台，抵压件压紧待测件的过程中，导柱对弹性件具有一定的导向作用，进而抵压件在缓冲时结构更佳稳定，有利于压紧待测件。

结合第一方面的第三种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实现方式中，所述连接盘和所述压盘均呈圆形状，所述弹性件的数量为四组且与所述连接盘、所述压盘同轴线均匀布置。

实现上述方案的全自动探针台，弹性件的布置更佳均匀有利于抵压件的重心靠近轴线，从而有利于抵压件压紧待测件。

结合第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第六种可能的实现方式中，所述动力源组件为竖向布置的气缸，所述抵压件固定装配于所述气缸的伸缩杆。