[实用新型]一种用于CVD设备的过滤装置有效
| 申请号： | 201721173149.5 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN207153388U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 林俊贤 | 申请（专利权）人： | 苏州汉德曼精密制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫,赖婉婷 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cvd 设备 过滤 装置 | ||
1.一种用于CVD设备的过滤装置，所述CVD设备具有反应室，所述过滤装置包括进气管、过滤器单元、出气管和真空泵，所述进气管的一端与所述反应室相连，所述出气管的一端与所述过滤器单元的出气口相连、另一端与所述真空泵相连，其特征在于：所述过滤装置还包括具有内腔的沉积桶，所述沉积桶的进气口与所述进气管的另一端相连，所述沉积桶的出气口与所述过滤器单元的进气口相连，所述沉积桶内固定设置有水冷盘管。
2.根据权利要求1所述的用于CVD设备的过滤装置，其特征在于：所述沉积桶的进气口设置在所述沉积桶的顶部，所述沉积桶的出气口设置在所述沉积桶的侧部。
3.根据权利要求1所述的用于CVD设备的过滤装置，其特征在于：所述沉积桶的底部设置有排尘孔。
4.根据权利要求1所述的用于CVD设备的过滤装置，其特征在于：所述沉积桶为不锈钢桶。
5.根据权利要求1所述的用于CVD设备的过滤装置，其特征在于：所述水冷盘管为螺旋盘管，其在所述沉积桶内沿上下方向延伸设置。
6.根据权利要求1所述的用于CVD设备的过滤装置，其特征在于：所述过滤器单元包括串联连接的粗过滤器和精过滤器，所述粗过滤器使用的滤芯孔径大于所述精过滤器使用的滤芯孔径，所述粗过滤器的进气口与所述沉积桶的出气口相连，所述粗过滤器的出气口与所述精过滤器的进气口相连，所述精过滤器的出气口与所述出气管的所述一端相连。
7.根据权利要求6所述的用于CVD设备的过滤装置，其特征在于：所述粗过滤器的滤芯为聚酯滤芯，孔径为10~25微米。
8.根据权利要求6所述的用于CVD设备的过滤装置，其特征在于：所述精过滤器的滤芯为聚酯滤芯，孔径为2~8微米。
9.根据权利要求1所述的用于CVD设备的过滤装置，其特征在于：所述过滤器单元包括多个并联连接的精过滤器，各所述精过滤器的进气口分别与所述沉积桶的出气口相连，各所述精过滤器的出气口分别与所述出气管的所述一端相连。
10.根据权利要求9所述的用于CVD设备的过滤装置，其特征在于：所述精过滤器的滤芯为聚酯滤芯，孔径为2~8微米。
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