[实用新型]轻质复合型石墨舟片有效
申请号: | 201721185162.2 | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN207217488U | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 齐轶;曹钺 | 申请(专利权)人: | 上海晶驰炭素有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙)31230 | 代理人: | 陈伟勇 |
地址: | 201505 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 复合型 石墨 | ||
1.轻质复合型石墨舟片,包括一舟片,其特征在于,所述舟片包括石墨制成的第一片状体,所述第一片状体上开设有开口向上的凹槽,所述凹槽内填充有一锂金属层;
所述舟片还包括石墨制成的第二片状体,所述第二片状体覆盖在所述第一片状体的上方,且所述第一片状体与第二片状体围成容置所述锂金属层的空腔。
2.根据权利要求1所述的轻质复合型石墨舟片,其特征在于:所述舟片还包括一耐磨外包层,所述第一片状体与所述第二片状体被包覆在所述耐磨外包层内;
所述耐磨外包层包括一玄武岩纤维编织而成的纤维网以及涂覆在纤维网外侧的石墨涂层;
所述石墨涂层设有嵌入纤维网网孔的凸起。
3.根据权利要求1所述的轻质复合型石墨舟片,其特征在于:所述舟片上开设有用于插入定位柱的定位柱安装孔,所述定位柱安装孔上安装有定位柱;
所述舟片上还设有矩形开口,所述定位柱安装孔位于矩形开口的外边缘;
所述定位柱包括一安装在定位柱安装孔内的安装部,所述安装部的上下两侧设有一限位部,所述限位部与所述安装部之间为用于安装硅片的硅片接触部;
所述限位部的远离舟片侧的外表面呈菱形,所述菱形的锐角处于所述矩形开口的竖直方向上,所述菱形的锐角为25°~30°;
所述限位部靠近所述舟片侧的横截面与所述硅片接触部的横截面结构一致,均呈椭圆形,所述椭圆形竖直方向上的投影内切于所述菱形。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造