[实用新型]设有加强型石墨棒的石墨舟有效
| 申请号： | 201721186396.9 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN207217489U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 齐轶;曹钺 | 申请（专利权）人： | 上海晶驰炭素有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙)31230 | 代理人： | 陈伟勇 |
| 地址： | 201505 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 设有 加强型 石墨 | ||
【权利要求书】：
1.设有加强型石墨棒的石墨舟，包括一石墨舟，所述石墨舟包括石墨舟片、石墨棒，所述石墨舟片串联在所述石墨棒上，所述石墨棒两端设有用于锁紧石墨舟的螺母，其特征在于，所述石墨棒内部设有一钢条，所述钢条外侧包覆有一层由陶瓷纤维制成的隔热层；
所述钢条外侧设有至少4个条状凸起，所述隔热层各处厚度相等；
还包括一石墨层，所述石墨层全面覆盖所述隔热层构成所述石墨棒。
2.根据权利要求1所述的设有加强型石墨棒的石墨舟，其特征在于：所述石墨棒上还开有多个限位槽，所述石墨舟片安装在所述限位槽中；
所述石墨舟片之间还设有陶瓷圈，所述陶瓷圈串接在所述石墨棒上。
3.根据权利要求1所述的设有加强型石墨棒的石墨舟，其特征在于：所述石墨棒还包括一耐磨层，所述耐磨层包括一玄武岩纤维编织而成的纤维网，所述纤维网嵌入最外层的石墨层中间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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