[实用新型]一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置

权利要求书

1.一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的顶部通过紧固螺栓（3）固定设有端盖（2），且端盖（2）的顶部分别镶嵌有氨气输入管（6）和换气扇（4），所述端盖（2）的底部位于换气扇（4）的底端设有电磁阀（5），所述炉体（1）的内部固定安装有内胆（7），且内胆（7）的底部安装有加热管（8），所述内胆（7）与炉体（1）内壁之间固定盘绕有循环冷凝管（9），且循环冷凝管（9）的表面设有贯穿内胆（7）的出水口，所述炉体（1）的表面底端固定安装有与循环冷凝管（9）一端连接的循环泵（10），所述内胆（7）的内表面镶嵌有热电偶（11）。

2.根据权利要求1所述的一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，其特征在于：所述炉体（1）的表面喷覆有环氧树脂抗腐蚀层，且炉体（1）的底部外侧等角度至少设有三组粘贴橡胶垫的支腿。

3.根据权利要求1所述的一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，其特征在于：所述端盖（2）的表面设有与紧固螺栓（3）大小相对应的螺纹孔，且端盖（2）的底部粘贴有密封垫圈。

4.根据权利要求1所述的一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，其特征在于：所述循环冷凝管（9）的出水端和循环泵（10）的进水端均伸入外置的冷却水箱内部。

5.根据权利要求1所述的一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，其特征在于：所述炉体（1）的正面镶嵌有DSP控制器（12），且DSP控制器（12）的表面镶嵌有LED显示屏。

6.根据权利要求1所述的一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，其特征在于：所述换气扇（4）、电磁阀（5）、加热管（8）、循环泵（10）和热电偶（11）通过导线均与DSP控制器（12）电性连接。