[实用新型]一种新型晶圆表面贴膜装置

权利要求书

1.一种新型晶圆表面贴膜装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的后侧固定有两个固定杆(21)，两个固定杆(21)的上端通过转轴(3)转动连接有掀板(2)，所述掀板(2)的内部转动连接有转盘(13)，所述转盘(13)的内部开设有滑槽(12)，所述滑槽(12)的内部滑动连接有切割刀(14)，所述切割刀(14)的中部固定有两个滑柱(19)，两个滑柱(19)的两端分别滑动连接在位于滑槽(12)两侧壁上的滑道(17)内，所述切割刀(14)的上端开设有空腔(141)，所述空腔(141)的腔底连接有弹簧(18)，所述弹簧(18)的上端与滑块(16)固定连接，所述切割刀(14)的上端滑动插接在滑块(16)的内部，所述切割刀(14)的下端和开设在拆卸盘(15)上端面的V型缺口(152)活动连接，且切割刀(14)和V型缺口(152)之间设有薄膜(7)，所述薄膜(7)的一端为薄膜卷(6)，薄膜卷(6)为薄膜(7)组成的卷状物，所述薄膜卷(6)转动连接在V型固定架(5)上，所述V型固定架(5)固定在底座(1)的一侧，所述薄膜(7)远离薄膜卷(6)的另一端卷在卷轴(9)上，所述卷轴(9)转动连接在支架(8)上，所述支架(8)固定在底座(1)远离V型固定架(5)的一侧，所述转盘(13)上且位于滑槽(12)两侧设有多个对称卡槽(11)，所述滑块(16)底面两侧设有卡销(161)，所述卡销(161)与卡槽(11)卡接；

所述拆卸盘(15)活动连接在位于抽盒(4)上表面的圆槽(41)内，所述拆卸盘(15)底部设有的底柱(151)和位于圆槽(41)底部的圆孔活动卡接，所述抽盒(4)滑动连接在内腔(101)中，所述内腔(101)设在底座(1)的内部，所述拆卸盘(15)的上表面开设有空槽(153)，且空槽(153)位于V型缺口(152)内侧。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置，其特征在于：所述所述掀板(2)和抽盒(4)的一侧均设有把手，且转盘(13)的上端一侧也设有把手。

3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置，其特征在于：所述卷轴(9)的前端贯穿支架(8)并连接有摇把(10)。

4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置，其特征在于：所述底座(1)的上表面前端两侧均设有顶杆(20)，所述顶杆(20)和掀板(2)活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置，其特征在于：所述底座(1)的上端两侧均通过固定块转动连接有挡杆(22)，且薄膜(7)绕过两个挡杆(22)。