[实用新型]一种新型晶圆表面贴膜装置有效

专利信息
申请号: 201721187938.4 申请日: 2017-09-17
公开(公告)号: CN207199580U 公开(公告)日: 2018-04-06
发明(设计)人: 陆孙华 申请(专利权)人: 苏州英尔捷微电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435 代理人: 周丹
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 表面 装置
【权利要求书】:

1.一种新型晶圆表面贴膜装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的后侧固定有两个固定杆(21),两个固定杆(21)的上端通过转轴(3)转动连接有掀板(2),所述掀板(2)的内部转动连接有转盘(13),所述转盘(13)的内部开设有滑槽(12),所述滑槽(12)的内部滑动连接有切割刀(14),所述切割刀(14)的中部固定有两个滑柱(19),两个滑柱(19)的两端分别滑动连接在位于滑槽(12)两侧壁上的滑道(17)内,所述切割刀(14)的上端开设有空腔(141),所述空腔(141)的腔底连接有弹簧(18),所述弹簧(18)的上端与滑块(16)固定连接,所述切割刀(14)的上端滑动插接在滑块(16)的内部,所述切割刀(14)的下端和开设在拆卸盘(15)上端面的V型缺口(152)活动连接,且切割刀(14)和V型缺口(152)之间设有薄膜(7),所述薄膜(7)的一端为薄膜卷(6),薄膜卷(6)为薄膜(7)组成的卷状物,所述薄膜卷(6)转动连接在V型固定架(5)上,所述V型固定架(5)固定在底座(1)的一侧,所述薄膜(7)远离薄膜卷(6)的另一端卷在卷轴(9)上,所述卷轴(9)转动连接在支架(8)上,所述支架(8)固定在底座(1)远离V型固定架(5)的一侧,所述转盘(13)上且位于滑槽(12)两侧设有多个对称卡槽(11),所述滑块(16)底面两侧设有卡销(161),所述卡销(161)与卡槽(11)卡接;

所述拆卸盘(15)活动连接在位于抽盒(4)上表面的圆槽(41)内,所述拆卸盘(15)底部设有的底柱(151)和位于圆槽(41)底部的圆孔活动卡接,所述抽盒(4)滑动连接在内腔(101)中,所述内腔(101)设在底座(1)的内部,所述拆卸盘(15)的上表面开设有空槽(153),且空槽(153)位于V型缺口(152)内侧。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置,其特征在于:所述所述掀板(2)和抽盒(4)的一侧均设有把手,且转盘(13)的上端一侧也设有把手。

3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置,其特征在于:所述卷轴(9)的前端贯穿支架(8)并连接有摇把(10)。

4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置,其特征在于:所述底座(1)的上表面前端两侧均设有顶杆(20),所述顶杆(20)和掀板(2)活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置,其特征在于:所述底座(1)的上端两侧均通过固定块转动连接有挡杆(22),且薄膜(7)绕过两个挡杆(22)。

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